[发明专利]OLED器件量测系统及自动定位OLED器件量测点位的方法

权利要求书

1.一种OLED器件量测系统，其特征在于，包括：

机台本体(1)，所述机台本体(1)包括主控系统、受所述主控系统控制且能够自动沿X方向运动的X轴(11)、受所述主控系统控制且能够自动沿Y方向运动的Y轴(13)、受所述主控系统控制且能够自动沿Z方向运动的Z轴(15)以及一设于XY平面上能够被所述X轴(11)与Y轴(13)带动着运动的承载基板(17)；

于所述承载基板(17)上方固定在所述Z轴(15)上且能够发出量测光斑(FA)的检测器(3)，所述检测器(3)内置有目镜；

固定在所述检测器(3)外部并与所述目镜连接的目镜筒(5)；

以及固定在所述目镜筒(5)上的相机(7)。

2.如权利要求1所述的OLED器件量测系统，其特征在于，所述相机(7)为CCD相机。

3.如权利要求1所述的OLED器件量测系统，其特征在于，所述X轴(11)连接第一驱动电机(M1)，所述Y轴(13)连接第二驱动电机(M2)，所述Z轴连接第三驱动电机(M3)。

4.如权利要求1所述的OLED器件量测系统，其特征在于，所述相机(7)位于所述检测器(3)的上方，所述目镜筒(5)沿Z方向延伸。

5.如权利要求1所述的OLED器件量测系统，其特征在于，所述相机(7)位于所述检测器(3)的一侧，所述目镜筒(5)先沿Z方向延伸再沿与Z方向垂直的方向朝着所述相机(7)延伸，且所述目镜筒(5)内装有反射镜片以改变光路方向。

6.一种自动定位OLED器件量测点位的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供OLED器件量测系统；

所述OLED器件量测系统包括：

机台本体(1)，所述机台本体(1)包括主控系统、受所述主控系统控制且能够自动沿X方向运动的X轴(11)、受所述主控系统控制且能够自动沿Y方向运动的Y轴(13)、受所述主控系统控制且能够自动沿Z方向运动的Z轴(15)以及一设于XY平面上能够被所述X轴(11)与Y轴(13)带动着运动的承载基板(17)；

于所述承载基板(17)上方固定在所述Z轴(15)上且能够产生量测光斑(FA)的检测器(3)，所述检测器(3)内置有目镜；

固定在所述检测器(3)外部并与所述目镜连接的目镜筒(5)；

以及固定在所述目镜筒(5)上的相机(7)；

步骤S2、在所述承载基板(17)上放置OLED器件样品(9)；

步骤S3、控制所述检测器(3)发出量测光斑(FA)，通过所述相机(7)、目镜筒(5)及目镜观察所述相机(7)的取景区域(FOV)，确认所述OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)及所述量测光斑(FA)的中心点(O3)均在所述相机(7)的取景区域(FOV)内；

步骤S4、先调试所述相机(7)，使得所述相机(7)的取景区域(FOV)的中心点(O1)趋近所述量测光斑(FA)的中心点(O3)，接着使所述主控系统将所述相机(7)的像素单位换算成长度单位，然后使所述主控系统以所述相机(7)的取景区域(FOV)的中心点(O1)为基准点，计算出所述量测光斑(FA)的中心点(O3)与所述基准点的X向距离(X3)和Y向距离(Y3)，并将所述量测光斑(FA)的中心点(O3)与所述基准点的X向距离(X3)和Y向距离(Y3)分别作为X向补偿值与Y向补偿值进行存储；

步骤S5、使所述主控系统判别出所述OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)相对于所述相机(7)的取景区域(FOV)的中心点(O1)的X坐标(X2)和Y坐标(Y2)，再使所述主控系统根据所述X坐标(X2)和Y坐标(Y2)控制所述X轴(11)与Y轴(13)分别自动运动，带动着所述承载基板(17)及所述OLED器件样品(9)运动，将所述OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)置于所述相机(7)的取景区域(FOV)的中心点(O1)；

步骤S6、使所述主控系统控制所述X轴(11)与Y轴(13)分别自动运动所述X向补偿值与Y向补偿值，带动着所述承载基板(17)及所述OLED器件样品(9)运动，使所述OLED器件样品(9)的发光区上的待量测点(O2)定位到所述量测光斑(FA)的中心点(O3)。