[发明专利]手套箱系统以及手套箱系统的保养方法有效
申请号: | 201810428879.8 | 申请日: | 2018-05-07 |
公开(公告)号: | CN108621206B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 藤野诚治;王明晖;金凤杰;熬伟 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | B25J21/02 | 分类号: | B25J21/02;F17C5/06;F17C13/00 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 王刚;龚敏 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 手套 系统 以及 保养 方法 | ||
1.一种手套箱系统,其特征在于,包括:
手套箱,所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口;
缓冲槽,所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口;
纯化器,所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口;
第一氮气进口,所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀;
第一出口,所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀;
第二氮气进口,所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀;
第二出口,所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀;
其中,所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀;所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀;所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀,所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀;所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀,所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
2.一种手套箱系统,其特征在于,包括缓冲槽和多个手套箱组,所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口;各所述手套箱组包括:
手套箱,所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口;
纯化器,所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口;
第一氮气进口,所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀;
第一出口,所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀;
第二氮气进口,所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀;
第二出口,所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀;
其中,所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀;所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀;所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀,所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀;所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀,所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
3.根据权利要求1或2所述的手套箱系统,其特征在于,还包括送风机,所述纯化器出口与所述手套箱进口之间、所述缓冲槽进口与所述缓冲槽出口之间的至少一个位置处设置有所述送风机。
4.根据权利要求1或2所述的手套箱系统,其特征在于,还包括第十一开关阀,所述缓冲槽出口与所述缓冲槽进口能够直接通过所述第十一开关阀连通或者断开。
5.根据权利要求1或2所述的手套箱系统,其特征在于,还包括第十四开关阀、设置于所述手套箱出口与所述第五开关阀之间的第十二开关阀、设置于所述手套箱进口与所述第六开关阀之间的第十三开关阀,所述第十四开关阀的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间,另一端连接至所述第十三开关阀与所述第六开关阀之间;
所述第一开关阀与所述手套箱进口连通的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间。
6.根据权利要求1或2所述的手套箱系统,其特征在于,所述第五开关阀与所述纯化器进口之间设置有第十五开关阀,所述第六开关阀与所述纯化器出口之间设置有第十六开关阀;所述第七开关阀和所述第十开关阀连通所述纯化器进口的一端连接至所述第五开关阀与所述第十五开关阀之间;所述第八开关阀与所述第九开关阀连通所述纯化器出口的一端连接至所述第六开关阀与所述第十六开关阀之间。
7.一种如权利要求1-6任一项所述的手套箱系统的保养方法,其特征在于,包括:
S1:给缓冲槽内充入氮气,使所述缓冲槽内的氮气的纯度高于外界氮气源的纯度,直到所述缓冲槽内的气体达到第一预设条件时,所述缓冲槽与所述纯化器进行循环;
S2:通过所述外界氮气源给手套箱充氮气;
S3:通过所述缓冲槽给所述手套箱充氮气;
S4:直到所述手套箱内气体满足第二预设条件时,所述手套箱和所述缓冲槽内的气体与纯化器进行循环;
其中,所述第一预设条件、第二预设条件为所述手套箱内的气体的浓度关系。
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