[发明专利]手套箱系统以及手套箱系统的保养方法

说明书

本申请涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种手套箱系统及其保养方法，手套箱系统的手套箱出口与纯化器进口之间设置有第五开关阀；手套箱进口与纯化器出口之间设置有第六开关阀；缓冲槽出口与纯化器进口之间设置有第七开关阀，缓冲槽进口与纯化器出口之间设置有第八开关阀；缓冲槽出口与手套箱进口之间设置有第九开关阀，缓冲槽进口与手套箱出口之间设置有第十开关阀。本申请的手套箱内的压缩空气在达到100ppm以下循环至手套箱内的压缩空气的浓度降到10ppm以下，所需的时间会明显缩短，进而缩短手套箱保养时恢复至氮气环境所需的时间。

技术领域

本申请涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种手套箱系统以及手套箱系统的保养方法。

背景技术

OLED显示屏制造工艺流程中，常常需要在氮气环境下进行，比如基板和盖板贴合的过程，以及贴合之前的搬送过程，因此，这些过程通常在手套箱系统内进行。

现有的手套箱系统如图1所示，包括手套箱10'、纯化器20'、送风机30'以及一些开关阀40'，手套箱10'上设有可开闭的窗口11'、手套箱进口12'以及手套箱出口13'，手套箱进口12'与手套箱出口13'通过管路50'与纯化器20'、送风机30'连通，且纯化器20'与送风机30'连通。在手套箱保养时，先对手套箱10'充入空气，然后再充入氮气，同时打开窗口11'，在压缩空气浓度为100ppm以下时，手套箱10 '内的气体沿着手套箱出口13'、纯化器20'、送风机30'、手套箱进口12'的路径循环，在这个过程中，手套箱10'内的氧气和水被纯化器20'吸收，使手套箱10'内的压缩空气的浓度降低，氮气的浓度提高，使手套箱10'尽可能恢复至氮气环境。

采用上述手套箱系统，手套箱10'内的压缩空气浓度由100ppm降至10ppm以下需要5～8小时，显然，这种结构，手套箱10'保养时恢复至氮气环境所需的时间较长。

发明内容

本申请提供了一种手套箱系统以及手套箱系统的保养方法，能够解决上述问题。

本申请的第一方面提供了一种手套箱系统，包括：

手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；

缓冲槽，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；

纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；

第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；

第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；

第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；

第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；

其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。

本申请的第二方面提供了一种手套箱系统，包括缓冲槽和多个手套箱组，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；各所述手套箱组包括：

手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；

纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；

第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；

第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；

第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；