[发明专利]加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计

权利要求书

1.一种加速度计可靠性测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；所述加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；所述敏感结构单元包括设置在所述敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；

在所述第一加力极板加载第一电压、且所述第二加力极板加载第二电压时，采集所述加速度计的第二电压信号；所述第一电压、所述第二电压为直流电压；

处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值；

在所述加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集所述加速度计的第三电压信号；

处理所述第一电压信号和所述第三电压信号，得到所述加速度计的第二加速度值；

根据所述第一加速度值和所述第二加速度值，确定所述加速度计的当前工作情况。

2.根据权利要求1所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号的步骤之前，包括：

采集所述加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。

3.根据权利要求2所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述性能指标参数包括所述加速度计的零位、标度因数以及量程。

4.根据权利要求3所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值的步骤包括：

基于以下表达式得到所述加速度计的第一加速度值：

其中，a为所述加速度计的第一加速度值；U_out1为所述第二电压信号；U_out0为所述第一电压信号；K为所述标度因数，且为常数。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述加速度计为MEMS加速度计。

6.一种加速度计可靠性测试装置，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；所述加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；所述敏感结构单元包括设置在所述敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；

所述数据采集模块，还用于在所述第一加力极板加载第一电压、且所述第二加力极板加载第二电压时，采集所述加速度计的第二电压信号；所述第一电压、所述第二电压为直流电压；

所述数据采集模块，还用于在所述加速度计的测试环境温度发生变化以及对其输入振动应力和/或冲击应力时，采集所述加速度计的第三电压信号；

数据处理模块，用于处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值；

所述数据处理模块，还用于处理所述第一电压信号和所述第三电压信号，得到所述加速度计的第二加速度值；

工作状况确认模块，用于根据所述第一加速度值和所述第二加速度值，确认所述加速度计的当前工作情况。

7.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至5中任一项所述方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。