[发明专利]加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计

说明书

本发明涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计，所述加速度计可靠性测试方法包括采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况,从而利用本发明各实施例中加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响。

技术领域

本发明涉及加速度传感器技术领域，特别是涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)加速度计是使用MEMS加工技术制造的加速度计，其是一种惯性传感器，能够测量物体的加速度。由于采用了MEMS技术，其尺寸相对传统加速度计大大缩小，此外，MEMS加速度计还有功耗低、成本低和易集成等特点，这些特点使得MEMS加速度计在消费电子、汽车电子、工业控制、航空航天和国防军事等诸多领域得到广泛应用。

可靠性是产品工程化的一个重要考核指标，在MEMS加速度计的研制和应用过程中，需要对其进行可靠性试验以验证和改善其可靠性，因此，对MEMS加速度计开展可靠性试验研究对于提高其可靠性、减小故障率、实现工程化应用具有重要意义。

传统的微电子产品可靠性试验包括温度、湿度、振动、冲击等试验项目，可以对产品进行单项可靠性试验，也可以对产品进行多项综合可靠性试验，如温度+湿度+振动的三综合试验。在实现过程中，发明人发现传统技术中至少存在如下问题：加速度计不同于传统的微电子产品，其作为一种传感器，其敏感的输入物理量，也会对产品的可靠性造成影响，但传统的可靠性综合试验方法并未考虑输入加速度，使得不能全面的评判加速度计的可靠性。

发明内容

基于此，有必要针对传统的可靠性综合试验方法并未考虑输入加速度，使得不能全面的评判加速度计的可靠性的问题，提供一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计。

为了实现上述目的，一方面，本发明实施提供了一种加速度计可靠性测试方法，包括以下步骤：

采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；

在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；

处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；

根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。

在其中一个实施例中，采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号的步骤之前，包括：

采集加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。

在其中一个实施例中，性能指标参数包括加速度计的零位、标度因数以及量程。

在其中一个实施例中，处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值的步骤之后，还包括：

在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；

处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；

根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。

另一方面，还提供了一种测试用加速度计，包括敏感结构单元；