[发明专利]图像传感器及形成图像传感器的方法

权利要求书

1.一种图像传感器，其特征在于，包括钉扎光电二极管，所述钉扎光电二极管包括形成在第二导电类型的半导体材料层中的第一导电类型的第一区域和第二导电类型的第二区域，其中，所述第一区域和所述第二区域的接触表面为凹凸不平的表面。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第二区域包括具有第一厚度的多个第一部分和具有第二厚度的一个或多个第二部分，所述第一厚度不等于所述第二厚度，其中，在与所述图像传感器的主表面平行的平面图中，所述第一部分和所述第二部分间隔排列。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第二区域包括具有第一厚度的一个或多个第一部分和具有第二厚度的第二部分，所述第一厚度不等于所述第二厚度，其中，在与所述图像传感器的主表面平行的平面图中，所述第二部分围绕所述第一部分。

4.根据权利要求2或3所述的图像传感器，其特征在于，所述第一厚度和所述第二厚度中较小的一个的范围为较大的一个的范围为

5.根据权利要求2或3所述的图像传感器，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分的掺杂浓度相同。

6.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第二区域的掺杂浓度高于所述第一区域的掺杂浓度。

7.根据权利要求6所述的图像传感器，其特征在于，所述第二区域的掺杂浓度的范围为1×10¹⁷cm^-3～1×10²⁰cm^-3。

8.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述图像传感器还包括形成在所述半导体材料层中的浮置扩散区，其中，所述浮置扩散区和所述半导体材料层的接触表面为凹凸不平的表面。

9.根据权利要求8所述的图像传感器，其特征在于，所述浮置扩散区包括具有第三厚度的多个第三部分和具有第四厚度的一个或多个第四部分，所述第三厚度不等于所述第四厚度，其中，在与所述图像传感器的主表面平行的平面图中，所述第三部分和所述第四部分间隔排列。

10.根据权利要求8所述的图像传感器，其特征在于，所述浮置扩散区包括具有第三厚度的一个或多个第三部分和具有第四厚度的第四部分，所述第三厚度不等于所述第四厚度，其中，在与所述图像传感器的主表面平行的平面图中，所述第三部分围绕所述第四部分。