[发明专利]一种光学真空镀膜材料在审
申请号: | 201810440351.2 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN108588644A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 陈学兵;王光辉 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 孙茂义 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 三氧化二铝 二氧化硅 二氧化钛 二氧化铪 二氧化锆 混合物 闪锌矿 纤锌矿 污点 膜层 起皮 色斑 剥落 | ||
1.一种光学真空镀膜材料,其特征在于,包括:二氧化钛、纯度为95%以上的二氧化硅、三氧化二铝、闪锌矿和纤锌矿的混合物、二氧化锆、二氧化铪、五氧化三钛,各组分的质量分数为:二氧化钛30-40份、纯度为95%以上的二氧化硅20-35份、三氧化二铝10-15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8-12份、二氧化锆2-6份、二氧化铪3-5份、五氧化三钛5.5-10份。
2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜材料,其特征在于,所述闪锌矿和纤锌矿的混合物主要成分为硫化锌。
3.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜材料,其特征在于,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛30份、纯度为95%以上的二氧化硅20份、三氧化二铝10份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8份、二氧化锆2份、二氧化铪3份、五氧化三钛5.5份。
4.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜材料,其特征在于,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛35份、纯度为95%以上的二氧化硅22份、三氧化二铝12份、闪锌矿和纤锌矿的混合物10份、二氧化锆3份、二氧化铪4份、五氧化三钛6份。
5.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜材料,其特征在于,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛33份、纯度为95%以上的二氧化硅24份、三氧化二铝13份、闪锌矿和纤锌矿的混合物10份、二氧化锆4份、二氧化铪4.5份、五氧化三钛8份。
6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜材料,其特征在于,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛40份、纯度为95%以上的二氧化硅35份、三氧化二铝15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物12份、二氧化锆6份、二氧化铪5份、五氧化三钛10份。
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