[发明专利]一种光学真空镀膜材料在审
申请号: | 201810440351.2 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN108588644A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 陈学兵;王光辉 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 孙茂义 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 三氧化二铝 二氧化硅 二氧化钛 二氧化铪 二氧化锆 混合物 闪锌矿 纤锌矿 污点 膜层 起皮 色斑 剥落 | ||
本发明公开了一种光学真空镀膜材料,包括:二氧化钛30‑40份、纯度为95%以上的二氧化硅20‑35份、三氧化二铝10‑15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8‑12份、二氧化锆2‑6份、二氧化铪3‑5份、五氧化三钛5.5‑10份。通过上述方式,本发明一种光学真空镀膜材料,不易起皮和剥落,形成的膜层没有色斑和污点,耐久性好。
技术领域
本发明涉及高分子材料技术领域,特别是涉及一种光学真空镀膜材料。
背景技术
随着薄膜在光学、激光器等方面的应用日益扩大,对薄膜的光学和机械性能要求越来越高,研制新的镀膜制备工艺和新型镀膜材料已成为当今薄膜的重要趋势,利用薄膜掺杂技术可以改薄膜的光学、机械性能从而得到新型的镀膜材料。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种光学真空镀膜材料,不易起皮和剥落,形成的膜层没有色斑和污点,耐久性好,机械性能好,强度高。
为解决上述技术问题,一种光学真空镀膜材料,包括:二氧化钛、纯度为95%以上的二氧化硅、三氧化二铝、闪锌矿和纤锌矿的混合物、二氧化锆、二氧化铪、五氧化三钛,各组分的质量分数为:二氧化钛30-40份、纯度为95%以上的二氧化硅20-35份、三氧化二铝10-15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8-12份、二氧化锆2-6份、二氧化铪3-5份、五氧化三钛5.5-10份。
在本发明一个较佳实例中,所述闪锌矿和纤锌矿的混合物主要成分为硫化锌。
在本发明一个较佳实例中,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛30份、纯度为95%以上的二氧化硅20份、三氧化二铝10份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8份、二氧化锆2份、二氧化铪3份、五氧化三钛5.5份。
在本发明一个较佳实例中,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛35份、纯度为95%以上的二氧化硅22份、三氧化二铝12份、闪锌矿和纤锌矿的混合物10份、二氧化锆3份、二氧化铪4份、五氧化三钛6份。
在本发明一个较佳实例中,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛33份、纯度为95%以上的二氧化硅24份、三氧化二铝13份、闪锌矿和纤锌矿的混合物10份、二氧化锆4份、二氧化铪4.5份、五氧化三钛8份。
在本发明一个较佳实例中,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛40份、纯度为95%以上的二氧化硅35份、三氧化二铝15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物12份、二氧化锆6份、二氧化铪5份、五氧化三钛10份。
本发明的有益效果是:本发明一种光学真空镀膜材料,不易起皮和剥落,形成的膜层没有色斑和污点,耐久性好,机械性能好,强度高。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
一种光学真空镀膜材料,包括:二氧化钛、纯度为95%以上的二氧化硅、三氧化二铝、闪锌矿和纤锌矿的混合物、二氧化锆、二氧化铪、五氧化三钛,各组分的质量分数为:二氧化钛30-40份、纯度为95%以上的二氧化硅20-35份、三氧化二铝10-15份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8-12份、二氧化锆2-6份、二氧化铪3-5份、五氧化三钛5.5-10份。
进一步的,所述闪锌矿和纤锌矿的混合物主要成分为硫化锌。
进一步的,所述光学真空镀膜材料各组分的质量份数为:二氧化钛30份、纯度为95%以上的二氧化硅20份、三氧化二铝10份、闪锌矿和纤锌矿的混合物8份、二氧化锆2份、二氧化铪3份、五氧化三钛5.5份。
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