[发明专利]一种管靶贴合控制间隙的方法在审
申请号: | 201810444257.4 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN108546921A | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 何建进 | 申请(专利权)人: | 苏州精美科光电材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 管靶材 贴合 背管 内环 控制间隙 密封法兰 种管 锁紧调节部件 不锈钢制 部件调节 外侧设置 陶瓷制 环包 加温 同径 侧面 金属 | ||
1.一种管靶贴合控制间隙的方法,包括相互贴合的背管和管靶材,所述背管为钛或不锈钢制得,所述管靶材为金属或陶瓷制得,其特征在于,所述管靶材外侧设置有一调节环,所述调节环包覆于管靶材及背管,所述调节环包括内环、外环和设置在两端面的密封法兰,其中一端的密封法兰上设置有调节部件,所述调节部件用于调节内环至外环的同径距离,所述内环的内侧面贴合管靶材,使用时,先通过调节部件调节内环至贴合管靶材处,锁紧调节部件,在进行加温。
2.根据权利要求1所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述调节环的内环、外环分别为非导热材料制得。
3.根据权利要求1所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述调节部件包括设置在密封法兰内侧的用于调节内环的张紧圆块和贯穿张紧圆块中心轴处的调节螺杆,张紧圆块由三块扇形子块组成,所述调节螺杆为锥形结构,所述调节螺杆向内选入调节张紧圆块向外张,进而使内环与外环的同径距离减小,反之,使内环与外环的同径距离增大。
4.根据权利要求3所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述调节螺杆通过设置在密封法兰外侧的调节螺母固定。
5.根据权利要求3所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述密封法兰的另一端也设置有调节部件。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述调节环的内环与管靶材之间可填充一层绝缘隔热材料。
7.根据权利要求6所述的一种管靶贴合控制间隙的方法,其特征在于,所述调节环的内环与管靶材之间抽真空后再填充绝缘隔热材料。
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