[发明专利]一种管靶贴合控制间隙的方法在审
申请号: | 201810444257.4 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN108546921A | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 何建进 | 申请(专利权)人: | 苏州精美科光电材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 管靶材 贴合 背管 内环 控制间隙 密封法兰 种管 锁紧调节部件 不锈钢制 部件调节 外侧设置 陶瓷制 环包 加温 同径 侧面 金属 | ||
本发明公开了一种管靶贴合控制间隙的方法,包括相互贴合的背管和管靶材,所述背管为钛或不锈钢制得,所述管靶材为金属或陶瓷制得,所述管靶材外侧设置有一调节环,所述调节环包覆于管靶材及背管,所述调节环包括内环、外环和设置在两端面的密封法兰,其中一端的密封法兰上设置有调节部件,所述调节部件用于调节内环至外环的同径距离,所述内环的内侧面贴合管靶材,使用时,先通过调节部件调节内环至贴合管靶材处,锁紧调节部件,在进行加温。本发明有效的控制背管与管靶材之间的间隙。
技术领域
本发明涉及控制间隙方法的应用领域,特别涉及一种管靶贴合控制间隙的方法。
背景技术
目前,通常管靶在贴合过程中,一般会有两种不同材料贴合在一起,如背管和管靶材,背管一般会选择钛或不锈钢等金属,管靶材一般会选择金属或陶瓷,管靶需要进行加热处理,但因金属与金属或金属与陶瓷的膨胀系数不同的原因,控制背管与管靶材之间间隙的一致性非常困难,背管容易将管靶材涨裂,造成不良品。
发明内容
为解决上述背景技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种管靶贴合控制间隙的方法,以达到有效的控制背管与管靶材之间的间隙的目的。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种管靶贴合控制间隙的方法,包括相互贴合的背管和管靶材,所述背管为钛或不锈钢制得,所述管靶材为金属或陶瓷制得,所述管靶材外侧设置有一调节环,所述调节环包覆于管靶材及背管,所述调节环包括内环、外环和设置在两端面的密封法兰,其中一端的密封法兰上设置有调节部件,所述调节部件用于调节内环至外环的同径距离,所述内环的内侧面贴合管靶材,使用时,先通过调节部件调节内环至贴合管靶材处,锁紧调节部件,在进行加温。
优选的,所述调节环的内环、外环分别为非导热材料制得。
优选的,所述调节部件包括设置在密封法兰内侧的用于调节内环的张紧圆块和贯穿张紧圆块中心轴处的调节螺杆,张紧圆块由三块扇形子块组成,所述调节螺杆为锥形结构,所述调节螺杆向内选入调节张紧圆块向外张,进而使内环与外环的同径距离减小,反之,使内环与外环的同径距离增大。
优选的,所述调节螺杆通过设置在密封法兰外侧的调节螺母固定。
优选的,所述密封法兰的另一端也设置有调节部件。
优选的,所述调节环的内环与管靶材之间可填充一层绝缘隔热材料。
优选的,所述调节环的内环与管靶材之间抽真空后再填充绝缘隔热材料。
通过上述技术方案,本发明提供的一种管靶贴合控制间隙的方法,通过在管靶材外侧设置有与其贴合的调节环,调节环可以有效的锁定管靶材与背管,在加热过程中,有效的控制背管与管靶材之间的间隙,不会因膨胀系数的不同而造成涨裂的现象。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本发明实施例所公开的一种管靶贴合控制间隙的方法的结构示意图;
图2为本发明实施例所公开的一种管靶贴合控制间隙的方法的示意图;
图3为本发明实施例所公开的一种管靶贴合控制间隙的方法的调节环的结构示意图;
图4为本发明实施例所公开的一种管靶贴合控制间隙的方法的张紧圆块的结构示意图;
图中:
1、背管;2、管靶材;3、调节环;31、内环;32、外环;33、密封法兰;34、调节部件;35、张紧圆块;36、调节螺杆;37、调节螺母。
具体实施方式
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