[发明专利]一种反射型光束分割等比递减器及其制作装置、制作方法在审
| 申请号： | 201810449894.0 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN108692920A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 吴冰静;张敏;齐文博;薛艳博;李奇;何俊华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B5/08 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等比 光束分割 递减器 反射型 固定底座 制作装置 单孔光阑 光阑 压板 制作 测量 等间距分布 镀膜区域 分幅相机 光阑设置 脉冲展宽 激光器 反射率 反射面 反射膜 光阑孔 上端 镀膜 卡槽 滤片 递减 反射 | ||
1.一种反射型光束分割等比递减器，其特征在于：包括基体(11)；
所述基体(11)的一面为反射面(12)，所述反射面(12)上镀有等间距分布、反射率等比递减的多种反射膜(13)。
2.根据权利要求1所述的反射型光束分割等比递减器，其特征在于：所述反射膜(13)为六种。
3.根据权利要求2所述的反射型光束分割等比递减器，其特征在于：第一种反射膜的反射率大于95％，其余五种反射膜的反射率按40％依次递减。
4.根据权利要求1或2或3所述的反射型光束分割等比递减器，其特征在于：所述基体(11)采用玻璃或金属材料制作。
5.根据权利要求4所述的反射型光束分割等比递减器，其特征在于：所述基体(11)为立方体。
6.根据权利要求5所述的反射型光束分割等比递减器，其特征在于：所述基体(11)除反射面(12)外的其他表面均为毛面或带有楔角的面。
7.制作如权利要求1至6任一所述反射型光束分割等比递减器的装置，其特征在于：包括压板(2)、固定底座(3)、多孔光阑(4)和单孔光阑(5)；
所述固定底座(3)上设置有安装反射型光束分割等比递减器(1)的卡槽(31)，所述压板(2)设置在固定底座(3)的上端，用于压紧反射型光束分割等比递减器(1)；
所述多孔光阑(4)设置在卡槽(31)的前端，用于设置反射型光束分割等比递减器(1)的镀膜区域；
所述单孔光阑(5)设置在多孔光阑(4)的前端，用于不同光阑孔的镀膜。
8.根据权利要求7所述的制作反射型光束分割等比递减器的装置，其特征在于：所述单孔光阑(5)两侧设有腰型槽(51)，用于单孔光阑(5)的平移。
9.根据权利要求8所述的制作反射型光束分割等比递减器的装置，其特征在于：所述多孔光阑(4)通过螺钉固定设置在固定底座(3)上。
10.利用权利要求7至9任一所述的装置制作反射型光束分割等比递减器的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将基体(11)安装在固定底座(3)的卡槽(31)中，上方用压板(2)压紧；
2)在基体反射面(12)的前端固定多孔光阑(4)，确保多个镀膜区域所镀反射膜的相对位置保持不变；
3)在多孔光阑(4)前安装单孔光阑(5)，移动单孔光阑(5)实现不同光阑孔的镀膜。
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