[发明专利]一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机

权利要求书

1.一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：包括

横向设置的载具输送机构；

至少一载具，用于装载硅片，设置在载具输送机构两端的上方，并与载具输送机构驱动连接，以实现在载具输送机构的驱动下沿横向方向往复移动；

升降机构，设置在输送装置的下方，并能驱动载具内的硅片沿竖直方向升降，以实现载具内最顶端的硅片保持在固定的水平面上；

风刀机构，设置在载具输送机构的上方，能发出规律的气流，以实现将位于最顶端的硅片吹起，与底下的硅片分离；

硅片搬运机构，纵向设置在输送机构的上方，位于风刀机构的旁侧，以实现将载具内最顶端的硅片沿纵向方向运送；

上料输送机构，设置在输送装置的后侧，用于将硅片搬运机构中沿横向方向输送，流入下一个工位处；

横向传输机构，横向并排设有若干个，用于接收从上料输送机构处流出的硅片，并将硅片横向排列好；

第一称重单元，设置在上料输送机构和横向传输机构之间，用于检测硅片进入横向传输机构前的重量；

称重机械手，设有伯努利吸盘，用于将在上料输送机构中和第一称重单元之间传递硅片；

纵向传输机构，对应设置在横向传输机构的后侧，用于将横向传输机构上的硅片往纵向方向输送；

第二称重单元，设置在纵向传输机构的后侧，用于称量从纵向传输机构流入的硅片的重量。

2.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述载具包括载物框架，载物框架通过滑轨副与载物输送机构滑动连接，载物框架的底板处设有一通孔，载物框架的底板上方设有硅片托板，升降机构的输出端穿过通孔与硅片托板接触。

3.根据权利要求2所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述升降机构包括升降底板、硅片顶杆、升降丝杠、升降滑块和升降伺服电机，升降底板固定连接所述载具输送机构的下方，升降滑块固通过滑轨副与升降底板滑动连接，硅片顶杆的一端与升降滑块固定连接，另一端穿过通孔与所述硅片托板接触，升降丝杠竖直设置在升降底板上，并与升降滑块驱动连接，升降伺服电机的动力输出端与升降丝杠驱动连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述硅片顶杆与硅片托板的一端设有第一感应器，用于检测所述载具中是否有硅片，若载具中无硅片存在；风刀机构上设有第二感应器，用于检测最顶端的硅片是否到位。

5.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述硅片搬运机构包括龙门架、搬运滑块、下压气缸、吸盘安装架、伯努利吸盘和搬运伺服电机，龙门架沿纵向方向设置，并跨越过所述输送机构和所述上料输送机构，搬运滑块通过滑轨副与龙门架滑动连接，搬运伺服电机与搬运滑块驱动连接，下压气缸竖直向下安装于搬运滑块，吸盘安装架安装于下压气缸的动力输出端，伯努利吸盘安装于吸盘安装架，当下压气缸驱动吸盘安装架竖直向下运动时，伯努利吸盘将所述载具内最顶端的硅胶片吸附住。

6.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述上料输送机构的上方设有硅片检测机构，当硅片在上料输送机构的带动下经过硅片检测机构时，检测硅片是否存在缺角或叠片的不良情况。

7.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机，其特征在于：所述横向传输机构包括滚轮安装架，滚轮安装架上具有前后对称且横向设置的横向运输滚轮，横向运输滚轮的表面绕设有同步带，运输滚轮的下方设有与之驱动连接的滚轮驱动电机，滚轮安装架的底部设有与之驱动连接的底部顶升机构，以实现滚轮安装架整体上升或下降；前后对称且横向设置的横向运输滚轮之间设有纵向设置的运输滚轮，由独立的驱动电机与之驱动连接，当底部顶升机构将滚轮安装架往上顶起时，横向输送装置位于纵向设置的运输滚轮水平面以上，并将硅片沿横向方向排列输送，当底部顶升机构将滚轮安装架往下降落时，横向输送装置位于纵向设置的运输滚轮水平面以下，纵向设置的运输滚轮接住硅片，并将硅片沿纵向方向运送往所述纵向传输机构处。