[发明专利]自供电六轴传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种自供电六轴传感器，其特征在于，由两个相同的传感模块集成，单个传感模块包括：按压部件(1)、不接地电极层(2)、接触分离层(3)、与所述不接地电极层(2)材料不同且由多个电极组分构成的接地电极层(4)和支撑部件(5)；

所述按压部件(1)和所述不接地电极层(2)连接后，与所述支撑部件(5)相连接，所述支撑部件(5)用于支撑所述按压部件(1)在外力作用下下压或者滑动；

所述接触分离层(3)连接在所述接地电极层(4)上，所述接地电极层(4)连接在所述支撑部件(5)上，所述支撑部件(5)还用于支撑所述接地电极层(4)；

所述不接地电极层(2)在所述按压部件(1)下压或者滑动时与所述接触分离层(3)接触或者分离，使得所述接地电极层(4)的电极组分上产生电压信号；

所述两个相同的传感模块上产生电压信号的电极组分组合用于结合预设六轴方位表检测所述传感器控制目标对象的六轴方位，所述预设六轴方位表保存有六轴方位和产生电压信号的电极组分组合之间的对应关系。

2.根据权利要求1所述的自供电六轴传感器，其特征在于，

所述不接地电极层(2)为液体金属与疏水类的有机硅物料的混合介质薄膜层；

所述接触分离层(3)为绝缘层；

所述接地电极层(4)为由四个电极组分构成的金属电极层。

3.根据权利要求2所述的自供电六轴传感器，其特征在于，

所述混合介质薄膜层为由镓铟锡的混合溶液与聚二甲基硅氧烷与交联剂混合溶液按照6～7∶1的重量比例混合制成；

所述镓铟锡的混合溶液中镓铟锡的重量比例为6～7∶1∶2～3，且所述聚二甲基硅氧烷与交联剂混合溶液中聚二甲基硅氧烷与交联剂的重量比例为9～11∶1；

所述绝缘层为聚四氟乙烯薄膜层；

所述金属电极层为铝膜电极层。

4.根据权利要求1-3任一项所述的自供电六轴传感器，其特征在于，

所述按压部件(1)为设置在所述传感模块上的顶端球体；

所述不接地电极层(2)为设置在所述设置在所述传感模块上的底部半球体。

5.根据权利要求4所述的自供电六轴传感器，其特征在于，

支撑部件(5)包括弹性支撑部件(51)和非弹性支撑部件(52)；

所述按压部件(1)和所述不接地电极层(2)通过聚二甲基硅氧烷粘贴固化后，与所述弹性支撑部件(51)相连接，所述弹性支撑部件(51)用于支撑所述按压部件(1)在外力作用下下压或者滑动，所述非弹性支撑部件(52)用于支撑所述弹性支撑部件(51)。

6.根据权利要求1所述的自供电六轴传感器，其特征在于，所述两个相同的传感模块通过各自的支撑部件(5)集成在一起。

7.一种自供电六轴传感器制造方法，其特征在于，包括：

利用一个三维打印模具生成不接地电极层(2)、支撑部件(5)并利用另一个三维打印模具生成按压部件(1)；

将接触分离层(3)和与所述不接地电极层(2)材料不同且由多个电极组分构成的接地电极层(4)依次放在自供电六轴传感器框架的底部；

将不接地电极层(2)、支撑部件(5)放进所述自供电六轴传感器框架上，并将按压部件(1)连接在所述不接地电极层(2)的正上方，得到单个传感模块；

将两个传感模块的支撑部件(5)集成在一起，得到自供电六轴传感器。