[发明专利]体声波谐振器有效
| 申请号： | 201810455217.X | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108649921B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 申济湜;金德焕;金哲秀;朴浩洙;孙尚郁;宋寅相;李文喆;崔婧 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 姜长星;张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
1.一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：
基底；
空气空腔，设置在基底之上；
体声波谐振单元，包括设置在空气空腔之上的第一电极、设置在第一电极之上的第二电极以及设置在第一电极与第二电极之间的压电层；
第一反射层，设置在空气空腔与第一电极之间；
第二反射层，设置在第一反射层与空气空腔之间；
第三反射层，设置在第二电极之上，使得第二电极设置在该第三反射层与压电层之间；
第四反射层，设置在第三反射层之上，使得第三反射层设置在该第四反射层与第二电极之间，
其中，第二反射层的声阻抗高于第一反射层的声阻抗，第二反射层的声阻抗低于空气空腔的声阻抗，
其中，第一反射层包括用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数的至少一种材料，来提供将体声波谐振单元的频率温度系数补偿为近似为零的频率温度系数补偿特性，
其中，第一电极形成为与第一反射层的第一面直接接触。
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，第一反射层具有体声波谐振单元的谐振频率的波长的大约1/4的厚度，第二反射层具有所述波长的大约1/4的厚度。
3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，第一反射层的频率温度系数的符号与体声波谐振单元的频率温度系数的符号相反。
4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，第一反射层包括：氧化硅基材料、氮化硅基材料、氧化铝基材料和氮化铝基材料中的至少一种。
5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，第二反射层包括钼、钌、钨和铂中的至少一种。
6.如权利要求5所述的体声波谐振器，其中，第二反射层包括钼、钌、钨和铂中的至少两种的化合物。
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