[发明专利]微型电阻检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种微型电阻检测装置，包含：

一基座；

一机械手臂，装设于该基座上，该机械手臂两端分别设有一第一马达及一第二马达，该机械手臂以该第一马达之转轴为轴心相对于该基座旋转；

一检测座，连接该机械手臂，并可受该机械手臂驱动产生位移，该检测座连接该第二马达，并以该第二马达之转轴为轴心相对于该机械手臂旋转；

一驱动机构，装设于该检测座底部；

一探针座组，装设于该检测座底部，并包括两相对设置的探针座及一对探针，其中至少一探针座连接该驱动机构，并受该驱动机构控制进行直线运动而改变该两探针座之间距；该对探针分别设在该两探针座上而彼此相对；以及

多个显微影像装置，用以辨识一待测的微型电阻载板上的微型电阻的相对位置及印刷偏移角度，使该机械手臂据以调整该对探针的检测位置；

所述多个显微影像装置包含：

一第一显微影像装置，装设于该检测座，其拍摄角度与该第二马达之转轴平行；

一第二显微影像装置，装设于该检测座，其拍摄角度与该第二马达之转轴共轴；及

一第三显微影像装置，装设于该检测座，其拍摄角度与该第二马达之转轴成一角度。

2.如权利要求1所述的微型电阻检测装置，其特征在于，该驱动机构由至少一步进马达组成；该探针座组的至少一探针座连接该驱动机构的转轴，并可通过该驱动机构的转轴旋转而沿着该转轴呈直线运动而改变该两探针座之间距。

3.如权利要求1所述的微型电阻检测装置，其特征在于，该第一显微影像装置设有一环型光源；该第二显微影像装置，其拍摄中心与该对探针之对称中心相同；该第三显微影像装置，其拍摄中心与该对探针之对称中心相同。

4.如权利要求1所述的微型电阻检测装置，其特征在于，该第三显微影像装置，其拍摄角度与该第二马达之转轴成45度。

5.如权利要求1所述的微型电阻检测装置，其特征在于，还包含一承载座，具一方形凹陷，用以承载微型电阻。

6.如权利要求1所述的微型电阻检测装置，其特征在于，该承载座设有多个真空吸孔，该多个真空吸孔所围绕出之方型面积，小于该方形凹陷之面积。

7.一种微型电阻检测方法，使用如权利要求1-6中任一项所述的微型电阻检测装置，该微型电阻检测方法包含下列步骤：

S1：辨识一微型电阻载板上至少三点位置的微型电阻；

S2：依据该至少三点位置的微型电阻的相对位置计算出全部微型电阻的相对位置及印刷偏移角度；

S3：依据全部微型电阻的相对位置及印刷偏移角度调整一对探针的检测位置，使该对探针偏移来配合该印刷偏移角度；

S4：依据全部微型电阻的相对位置，驱动该对探针下压选择性接触其中一微型电阻的端电极，以检测其电阻值；

S5：在未能检测到电阻值的情况下，进一步辨识当前待测之微型电阻的位置，并依据辨识结果校正该对探针的检测位置；

S6：持续步骤S4，直到一定数量的微型电阻检测完毕后，完成该微型电阻载板的微型电阻检测。

8.如权利要求7所述的微型电阻检测方法，其特征在于，该至少三点位置的微型电阻为位于该微型电阻载板三个角落位置的微型电阻。