[发明专利]一种半导体集成电路自动冲切系统的开模合模装置

说明书

本发明涉及一种半导体集成电路自动冲切系统的开模合模装置，包括驱动机构，传动机构和动力连杆，驱动机构传动连接所述的传动机构，所述传动机构定位于一底座内，所述动力连杆与传动机构相连接，合模时，所述驱动机构与所述传动机构不运动，所述动力连杆与所述传动机构相对固定，所述动力连杆在其他外部动力的驱动下左右摆动进行工作；开模时，所述动力连杆停止运动，所述驱动机构开始启动带动传动机构进行开模。本发明由于采用齿轮传动，不用担心使用气缸开模由于气压不稳定和气动元器件的损坏导致模具强制合模给操作人员和模具造成伤害。当模具成型、刀具磨损或客户产品成型外观需要轻微调整时。无需大修模具，只需修改合模参数即可。

【技术领域】

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种大功率、高精度的半导体集成电路自动冲切系统的开模合模装置。

【背景技术】

在半导体集成电路自动冲切系统运行过程中，由于冲切动作需要高速高效，因此，模具正常的开模高度很低，只有15-30mm。当需要对模具表面进行清洁或维修调试时，由于高度太小，操作起来极为不便。传统的做法是增加气缸开模装置，这样虽然能实现开模清洁维护的功能，却因为气缸受环境气压影响比较大，导致模具在冲切产品的过程中由于合模精度不够导致产品不良率上升。

鉴于以上不足，为了可以高精度对模具进行开模维护，有必要提供一种不但能保证正常的开模合模功能，而且可以高精度进行重复定位，可承载冲裁力大的开模合模装置。

【发明内容】

为克服现有半导体集成电路自动冲切系统中开模合模的诸多问题，本发明提供了一种新型的半导体集成电路自动冲切系统的开模合模装置。

本发明解决技术问题的方案是提供一种半导体集成电路自动冲切系统的开模合模装置，包括驱动机构，传动机构和动力连杆，驱动机构传动连接所述的传动机构，所述传动机构定位于一底座内，所述动力连杆与传动机构相连接，合模时，所述驱动机构与所述传动机构不运动，所述动力连杆与所述传动机构相对固定，所述动力连杆在其他外部动力的驱动下左右摆动进行工作；开模时，所述动力连杆停止运动，所述驱动机构开始启动带动传动机构进行开模；

所述驱动机构包括一伺服电机和连接于伺服电机的减速器，所述减速器的传动轴动力连接所述的传动机构；

所述传动机构包括一联轴器，连接于联轴器的驱动齿轮，与驱动齿轮相啮合的开模齿轮组及一开模主轴；

所述开模齿轮组包括两个并行与开模主轴连接的齿轮，在该两齿轮之间留有间隙，该开模齿轮组的两个齿轮同步与所述驱动齿轮啮合；

所述开模齿轮组的内壁设置为螺纹面，与开模主轴螺纹配合，在开模齿轮组转动时带动开模主轴上下移动。

优选地，所述底座包括一齿轮腔和一主轴腔，开模齿轮组收容于齿轮腔内，开模主轴穿过主轴腔与动力连杆一起在主轴腔内进行连接。

优选地，所述开模主轴包括上半段与开模齿轮组进行螺纹配合的主轴螺纹段和下半段可在主轴腔内进行平滑上下移动的主轴滑动段，主轴螺纹段与主轴滑动段之间通过一间隔槽进行隔开。

优选地，在主轴螺纹段的下部，间隔槽的上部设置一挡块。

优选地，在开模主轴的底部连接一主轴联动杆，该主轴联动杆与开模主轴同步上下移动，同时主轴联动杆的端部会通过光栅感应触发连接一开模传感器，该开模传感器用于启动/关闭所述的伺服电机。

优选地，在开模主轴的顶部开设一主轴连接槽，侧壁开设一贯穿开模主轴的销孔，所述销孔位于主轴螺纹段的上部，所述的动力连杆的底部会卡入该主轴连接槽内，并用销钉穿过销孔将动力连杆与开模主轴连接固定。

与现有技术相比，本发明的开模主轴采用分段设计，上半段设置为主轴螺纹段，下半段设置为主轴滑动段，不但实现了精密定位的功能，还实现了齿轮传动的功能。