[发明专利]利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法

权利要求书

1.一种利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：

（1）、双氧水溶液浸泡：采用双氧水溶液对工件进行浸泡处理，双氧水溶液为H₂O₂：H₂O=（32~38）：（62~68），浸泡温度为45℃~55℃，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；

（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；

（3）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，HNO₃：HF：H₂O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10-30S；

（4）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；

（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的双氧水溶液为H₂O₂：H₂O=35：65。

3.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。

4.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的双氧水为浓度30-32%的双氧水。

5.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（2）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。

6.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（3）中采用的HNO₃：HF：H₂O=20：1：20。

7.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（3）中采用的硝酸为浓度为68％的浓硝酸。

8.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（3）中采用的氢氟酸为浓度为55％的氢氟酸。

9.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（4）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。

10.根据权利要求1所述的利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（5）中将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理，采用CDA吹干，常温吹至表面物流动水，放至干燥箱进行干燥，干燥温度为150±5℃，烘烤2小时以上。