[发明专利]成像装置和电子设备有效
申请号: | 201810472907.6 | 申请日: | 2014-03-12 |
公开(公告)号: | CN108550597B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 桝田佳明;渡边一史;水田恭平;井上启司;内田博久 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/374 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李晗;曹正建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成像 装置 电子设备 | ||
1.一种固态成像装置,其包括:
基板,所述基板包括有效像素区域、光学黑区、配线区域和周边区域,所述有效像素区域包括多个有效像素,所述光学黑区位于所述有效像素区域外侧,所述配线区域位于所述光学黑区外侧,所述周边区域位于所述配线区域外侧;以及
膜,所述膜设置在所述基板上,所述膜具有在所述有效像素区域的至少一部分中的第一区域和在所述光学黑区的至少一部分中的第二区域,
其中,所述膜在所述第一区域中的第一厚度比所述膜在所述第二区域中的第二厚度薄,且
其中,在平面图中,所述膜的至少一个角部在所述第一区域和所述第二区域之间具有圆角形状,
其中,所述膜由有机材料形成。
2.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,所述膜在所述第一区域和所述第二区域之间存在台阶部,所述台阶部靠近所述有效像素区域。
3.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,所述膜在所述第一区域和所述第二区域之间存在台阶部,所述台阶部靠近所述配线区域。
4.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,所述膜具有在所述配线区域中的第三区域,所述膜在所述第三区域中的第三厚度比所述第一厚度和所述第二厚度厚。
5.根据权利要求4所述的固态成像装置,其中,在所述平面图中,所述膜的至少一个角部在所述第二区域和所述第三区域之间具有圆角形状或斜面形状。
6.根据权利要求4所述的固态成像装置,
其中,所述膜具有在所述周边区域中的第四区域,所述膜在所述第四区域中的第四厚度与所述第二厚度相同。
7.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,在所述平面图中,所述膜的至少一个角部在所述第三区域和所述第四区域之间具有圆角形状或斜面形状。
8.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,在所述第二区域和所述第四区域中形成有高度调整元件,所述高度调整元件使所述第二区域和所述第四区域中的截面高度与所述第三区域中的截面高度相同。
9.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,在所述第二区域、所述第三区域和所述第四区域中形成有高度调整元件,使得所述第二区域中的截面高度与所述第四区域中的截面高度相同,且所述第三区域中的截面高度大于所述第二区域和所述第四区域中的截面高度。
10.根据权利要求8或9所述的固态成像装置,其中,所述高度调整元件由氧化硅形成。
11.根据权利要求9所述的固态成像装置,其中,当所述配线区域的平面形状具有至少一个间隙时,所述高度调整元件被形成为连接所述间隙。
12.根据权利要求11所述的固态成像装置,其中,在所述至少一个间隙中形成的所述高度调整元件的至少一个角部的平面形状具有圆角形状或斜面形状。
13.根据权利要求11所述的固态成像装置,其中,在所述至少一个间隙中形成的所述高度调整元件形成为点状。
14.根据权利要求8或9所述的固态成像装置,其中,所述高度调整元件的至少一个角部的平面形状具有圆角形状或斜面形状。
15.根据权利要求1所述的固态成像装置,其还包括:
在所述有效像素区域中的遮光膜,所述遮光膜具有对应于各所述有效像素的光电转换单元的开口,
其中所述膜在所述有效像素区域中的截面高度小于所述遮光膜的截面高度。
16.一种电子设备,其包括:
如权利要求1-15中任一项所述的固态成像装置,以及
处理从所述固态成像装置输出的输出信号的信号处理电路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的