[发明专利]一种干刻下部电极表面涂层加工方法及其专用加工刀具

说明书

本发明揭示了一种干刻下部电极表面涂层加工方法，干刻下部电极的上表面和侧面使用刀具进行铣削加工，干刻下部电极的上表面铣削加工时，首先使用立铣刀在面铣削边界一圈进行铣削，再使用面铣刀加工整体表面。本发明改进后的工艺能够大大减少崩角、崩边、成片脱落等现象，降低了人力和时间等成本，提高了成品率，产品表面粗糙度在产品需求以内，符合客户的表面粗糙度使用要求。

技术领域

本发明涉及干刻下部电极生产加工领域。

背景技术

在加工中心加工时，是通过加工工艺、加工程序控制设备运行，加工中心主轴装夹刀具在产品上做直线、圆弧铣削或钻削运动，对产品表面、侧面或孔进行加工。但是在加工干刻下部电极AL₂O₃涂层过程中，由于AL₂O₃涂层特性高硬度、韧性差，且AL₂O₃涂层是通过等离子喷涂依附在其它材料表面上，两种材料特性不一致。

传统加工方法存在以下问题：

1、传统进退刀方式是由刀具以线性或者圆弧方式直接接触工件(图1)，在与产品接触瞬间，刀具刀尖突然接触极硬的陶瓷层，刀具刀尖极易发生崩角，AL2O3涂层也容易发生成片脱落；

2、传统表面铣削加工是在产品表层依次往复线性运动(图3)，但由于AL2O3涂层特性高硬度、韧性差，在靠近边界处铣削时容易发生不同程度脱落；

3、传统侧面开粗铣削加工是用刀具侧刃恒定深度一次或多次加工侧面(图5)，这样加工时应力过大，容易在产品外形拐角处发生崩边，在进刀处容易抖刀发生啃刀在产品上产生过切刃纹，刀具使用寿命也会大大降低，随后导致整个产品(包括等离子喷涂等工序)返工或报废，刀具成本上升，浪费了大量的时间和成本；

4、由于AL₂O₃涂层特性高硬度，传统加工刀具加工效率差，且产品尺寸和表面粗糙度等极难达到使用要求，并且加工过后产品的整体外形也极易发生变形。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是实现一种能够有效提高干刻下部电极加工质量的工艺方法。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：一种干刻下部电极表面涂层加工方法，干刻下部电极的上表面和侧面使用刀具进行铣削加工，干刻下部电极的上表面铣削加工时，首先使用立铣刀在面铣削边界一圈进行铣削，再使用面铣刀加工整体表面。

所述使用面铣刀加工整体表面时，采用往复铣削的方式。

所述面铣削边界一圈进行的宽度为5mm-10mm，深度为5mm-10mm。

所述干刻下部电极的侧面使用立铣刀底刃以螺旋上升或下降的方式，依干刻下部电极外形逐渐加工侧面。

所述立铣刀底刃接触干刻下部电极的侧面时，所述立铣刀底刃进刀时使用螺旋渐进接触干刻下部电极的侧面。

一种用于干刻下部电极表面涂层加工方法的专用加工刀具，刀具包括刀头和连杆，所述刀头为圆柱形固定在连杆一端，所述刀头与连杆共轴，所述刀头外表面电镀金刚石颗粒。

本发明改进后的工艺能够大大减少崩角、崩边、成片脱落等现象，降低了人力和时间等成本，提高了成品率，产品表面粗糙度在产品需求以内，符合客户的表面粗糙度使用要求。

附图说明

下面对本发明说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1(a)为圆弧方式直接接触工件示意图；

图1(b)为直线方式直接接触工件示意图；

图2为螺旋渐近进退刀接触工件示意图；