[发明专利]监视装置、监视方法和计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种监视装置，进行蒸镀装置的监视，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜，所述监视装置的特征在于，包括：

拍摄部，将所述蒸镀装置所具备的用于保持所述蒸镀材料的容器作为拍摄对象，进行多次拍摄；

图像选择部，从所述拍摄部拍摄的多个图像之中，选择出与基准图像最相关的图像作为分析对象图像，所述基准图像为显现出所述容器的图像；以及

状态判定部，通过分析所述图像选择部选择的分析对象图像，来判定所述蒸镀装置的状态，

设有由所述容器的状态不同的多个所述基准图像构成的基准图像群，

所述图像选择部基于(1)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述容器的轮廓部分的辉度值、(2)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述容器的内壁的辉度值、(3)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述蒸镀材料的熔体表面附近的辉度值、或者(4)所述蒸镀装置中的电子束照射时的电流值，从所述基准图像群选择基准图像，并使用选择出的该基准图像，从所述多个图像选择所述分析对象图像。

2.根据权利要求1所述的监视装置，其特征在于，所述拍摄部每当拍摄所述图像时，改变拍摄灵敏度和快门速度中的至少任意一方。

3.根据权利要求2所述的监视装置，其特征在于，在所述多个图像的拍摄开始至结束为止的期间中，设有不拍摄所述图像的预定期间。

4.根据权利要求2或3所述的监视装置，其特征在于，

所述状态判定部将所述分析对象图像中显现的(A)所述容器的位置、(B)供给到所述容器的蒸镀材料的熔体表面位置、以及(C)从束射出源射出的电子束在所述容器中的照射位置中的任意一个位置作为分析对象进行分析，来判定所述蒸镀装置的状态，

所述拍摄部以对应于所述分析对象设定的所述拍摄灵敏度和所述快门速度进行拍摄。

5.根据权利要求1所述的监视装置，其特征在于，

所述基准图像群是如下的基准图像群中的至少一个基准图像群：

(a)包含所述容器的使用状态彼此不同的多个基准图像的基准图像群；

(b)包含供给到所述容器的所述蒸镀材料的熔体表面位置彼此不同的多个基准图像的基准图像群；

(c)包含所述容器相对于预定基准面的倾斜度彼此不同的多个基准图像的基准图像群，其中，所述倾斜度处在预定范围内；以及

(d)包含从束射出源射出的电子束在所述容器中的照射位置彼此不同的多个基准图像的基准图像群。

6.根据权利要求5所述的监视装置，其特征在于，

所述状态判定部将所述分析对象图像中显现的(A)所述容器的位置、(B)供给到所述容器的蒸镀材料的熔体表面位置、以及(C)从束射出源射出的电子束在所述容器中的照射位置中的任意一个位置作为分析对象进行分析，来判定所述蒸镀装置的状态，

所述图像选择部对应于所述分析对象，从所述(a)至(d)的基准图像群中的至少一个基准图像群，选择出在选择所述分析对象图像时所使用的基准图像。

7.一种监视方法，进行蒸镀装置的监视，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜，所述监视方法的特征在于，包括：

拍摄工序，将所述蒸镀装置所具备的用于保持所述蒸镀材料的容器作为拍摄对象，进行多次拍摄；

图像选择工序，从所述拍摄工序拍摄的多个图像之中，选择出与基准图像最相关的图像作为分析对象图像，所述基准图像为显现出所述容器的图像；以及

状态判定工序，通过分析所述图像选择工序选择的分析对象图像，来判定所述蒸镀装置的状态，

在所述图像选择工序中，基于(1)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述容器的轮廓部分的辉度值、(2)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述容器的内壁的辉度值、(3)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述蒸镀材料的熔体表面附近的辉度值、或者(4)所述蒸镀装置中的电子束照射时的电流值，从由所述容器的状态不同的多个所述基准图像构成的基准图像群选择基准图像，并使用选择出的该基准图像，从所述多个图像选择所述分析对象图像。

8.一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求7所述的监视方法的各步骤。