[发明专利]监视装置、监视方法和计算机可读存储介质

说明书

本发明提供监视装置、监视方法和计算机可读存储介质。所述监视装置(1)包括：拍摄部(11)，将炉膛内衬(24)作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部(16)，从拍摄部拍摄的多个图像之中，选择与基准图像最相关的图像作为分析对象图像；以及状态判定部(17)，通过分析图像选择部选择的分析对象图像，来判定蒸镀装置(2)的状态。利用这种结构，可以高精度地判定蒸镀装置的状态。

技术领域

本发明涉及蒸镀装置的监视。

背景技术

以往开发了监视蒸镀装置的技术，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜。专利文献1公开了其中一例。

专利文献1公开了如下的技术：由CCD(电荷耦合元件：Charge Coupled Device)相机识别电子束对蒸镀材料的照射位置，并根据所述照射位置，进行电子束的位置的控制。

专利文献1：日本专利公开公报特开2005-126759号(2005年5月19日公开)

可是，专利文献1中没有公开每当进行熔体表面状况的监视或电子束位置的控制时取得多个图像。因此，在专利文献1的技术中，当进行所述监视或控制时，由于材料容器的周边环境(例：材料容器自身或其周边的亮度)的不同，存在取得不适当的图像作为分析对象的可能性。此时，存在不能高精度进行所述监视或控制的可能性。

发明内容

本发明一个方式的目的是实现能高精度地判定蒸镀装置的状态的监视装置等。

为了解决上述课题，本发明一个方式的监视装置进行蒸镀装置的监视，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜，所述监视装置包括：拍摄部，将所述蒸镀装置所具备的用于保持所述蒸镀材料的容器作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部，从所述拍摄部拍摄的多个图像之中，选择出与基准图像最相关的图像作为分析对象图像，所述基准图像为显现出所述容器的图像；以及状态判定部，通过分析所述图像选择部选择的分析对象图像，来判定所述蒸镀装置的状态，设有由所述容器的状态不同的多个所述基准图像构成的基准图像群，所述图像选择部基于(1)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述容器的轮廓部分的辉度值、(2)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述容器的内壁的辉度值、(3)所述拍摄部拍摄的图像所含的所述蒸镀材料的熔体表面附近的辉度值、或者(4)所述蒸镀装置中的电子束照射时的电流值，从所述基准图像群选择基准图像，并使用选择出的该基准图像，从所述多个图像选择所述分析对象图像。

而且，为了解决上述课题，本发明一个方式的监视方法进行蒸镀装置的监视，所述蒸镀装置通过将蒸镀材料蒸镀于基板而对所述基板进行成膜，所述监视方法包括：拍摄工序，将所述蒸镀装置所具备的用于保持所述蒸镀材料的容器作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择工序，从所述拍摄工序拍摄的多个图像之中，选择出与基准图像最相关的图像作为分析对象图像，所述基准图像为显现出所述容器的图像；以及状态判定工序，通过分析所述图像选择工序选择的分析对象图像，来判定所述蒸镀装置的状态，在所述图像选择工序中，基于(1)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述容器的轮廓部分的辉度值、(2)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述容器的内壁的辉度值、(3)所述拍摄工序中拍摄的图像所含的所述蒸镀材料的熔体表面附近的辉度值、或者(4)所述蒸镀装置中的电子束照射时的电流值，从由所述容器的状态不同的多个所述基准图像构成的基准图像群选择基准图像，并使用选择出的该基准图像，从所述多个图像选择所述分析对象图像。

而且，为了解决上述课题，本发明一个方式的计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的监视方法的各步骤。

按照本发明一个方式的监视装置、监视方法和计算机可读存储介质，可以获得能高精度地判定蒸镀装置的状态是否为正常状态的效果。

附图说明

图1是表示本发明实施方式1的监视装置的具体结构的一例的模块图。

图2是表示本发明实施方式1的监视系统的一例的图。