[发明专利]气体溶解液制造装置在审

专利信息
申请号: 201810473585.7 申请日: 2018-05-17
公开(公告)号: CN108939959A 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 中川洋一 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: B01F1/00 分类号: B01F1/00;B01F3/04;B01F3/22;B01F13/06
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 张丽颖
地址: 日本国东京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 气液分离部 气体溶解液 气体溶解 制造装置 混合液体 气液分离 排出气体 容积可变 液体溶解 排气口 使用点 排出
【权利要求书】:

1.一种气体溶解液制造装置,其特征在于,具备:

气体溶解部,该气体溶解部使第一原料的液体溶解于第二原料的气体而产生混合液体;以及

气液分离部,该气液分离部将由所述气体溶解部产生的所述混合液体气液分离成向使用点供给的气体溶解液和从排气口排出的排出气体,

所述气液分离部具备改变该气液分离部的内部空间的容积的容积可变部。

2.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述容积可变部是收纳于所述气液分离部的内部空间的容积可变体,

通过向所述容积可变体的内部供给气体,从而所述容积可变体的体积增大,所述气液分离部的内部空间的容积减少,通过从所述容积可变体的内部排出气体,从而所述容积可变体的体积减少,所述气液分离部的内部空间的容积增大。

3.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述容积可变部是设于所述气液分离部的伸缩可变结构,

通过使所述伸缩可变结构缩短,从而所述气液分离部的内部空间的容积减少,通过使所述伸缩可变结构伸长,从而所述气液分离部的内部空间的容积增大。

4.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述气液分离部具备载荷测定部,该载荷测定部测定所述气液分离部的载荷。

5.根据权利要求4所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述气液分离部具备液面高度算出部,该液面高度算出部根据由所述载荷测定部测定出的所述气液分离部的载荷,算出所述气液分离部的内部的所述气体溶解液的液面高度。

6.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述第一原料的液体是纯水或硫酸,所述第二原料的气体是臭氧、氢气、氮气、二氧化碳、氧气、氩气、氙气中的任意一个或由它们的组合构成的气体。

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