[发明专利]靶材组件

说明书

本发明实施例提供一种靶材组件，属于机械加工领域。所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘与靶材之间形成密封，因此，避免了靶材与托盘之间的摩擦而造成靶材划伤及磕伤的问题。

技术领域

本发明涉及机械加工领域，具体而言，涉及一种靶材组件。

背景技术

产品的防护也是制造靶材中至关重要的一个环节，靶材表面质量的优或劣会直接影响靶材的溅射性能。

通常自动化在加工过程中上下料难免会对半成品产品磕伤，且磕伤严重会影响产品加工异常及报废，目前靶材半产品在自动化上下料采用珍珠棉托盘，这种方式很容易由于产品的批量生产珍珠棉会凹陷、破损、污迹造成产品外观不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种靶材组件，其能够改善上述问题。

本发明的实施例是这样实现的：

一种靶材组件，所述靶材组件包括：

靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封。

在本发明较佳的实施例中，所述垫圈为O-ring圈。

在本发明较佳的实施例中，所述凹槽为燕尾槽。

在本发明较佳的实施例中，所述靶材包括正面、背面以及侧面，所述靶材的正面为所述靶材的溅射面，所述靶材的背面与所述靶材的正面位置相对，所述靶材的侧面分别与所述靶材的正面以及所述靶材的背面相邻。

在本发明较佳的实施例中，所述靶材的背面与所述托盘的正面连接且所述靶材的侧面与所述托盘的正面相邻，所述靶材的侧面与所述托盘的正面的交界位置设置有经喷砂处理形成的环绕所述溅射面的喷砂区域。

在本发明较佳的实施例中，所述喷砂区域的第一喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同且所述喷砂区域的第二喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同，其中，所述第一喷砂线为所述喷砂区域的靠近所述溅射面的边界线，所述第一喷砂线为所述喷砂区域的远离所述溅射面的边界线。

在本发明较佳的实施例中，所述溅射面与所述靶材的侧面的交界位置被构成为R角。

在本发明较佳的实施例中，所述第一喷砂线与所述R角接平。

在本发明较佳的实施例中，所述第二喷砂线高出所述托盘的台阶面0.05mm，其中，所述台阶面为所述托盘的正面中未被所述喷砂区域环绕的部分表面。

在本发明较佳的实施例中，所述靶材的侧面与垂直于所述溅射面的方向的夹角为15度。

本发明实施例的有益效果是：

本发明实施例提供一种靶材组件，所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘与靶材之间形成密封，因此，避免了靶材与托盘之间的摩擦而造成靶材划伤及磕伤的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的一种靶材组件的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种靶材的结构示意图；