[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：

基部；

一对振动臂，它们在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸，沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列；以及

支承臂，其从所述基部起沿着所述第1方向延伸，配置在所述一对振动臂之间，

所述振动臂包含：

一对主面，它们沿着所述第1方向和所述第2方向，彼此处于正反关系；

一对侧面，它们沿着所述第1方向，连结所述一对主面；以及

有底的槽，其沿着所述第1方向设置在各个所述主面上，具有沿着与各所述主面垂直的厚度方向的深度，

与所述一对侧面中的一方连结、在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽排列的部分为第1堤部，

与所述一对侧面中的另一方连结、在俯视时在所述振动臂的所述主面上沿着所述第2方向与所述槽排列的部分为第2堤部，

所述第1堤部和所述第2堤部的沿着所述第2方向的宽度为6μm以下，

所述支承臂包含：

安装于封装上的固定部；以及

中间变细部，其在俯视时配置在所述固定部与所述基部之间，沿着所述第2方向的宽度比所述固定部小。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，

所述第1堤部和所述第2堤部的所述宽度为1μm以上、3μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

在设所述槽的最大深度为t、所述振动臂的厚度为T时，用2t/T表示的η为0.6以上。

4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述振动臂的厚度为50μm以上。

5.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述振动臂包含：

施重部；以及

臂部，其在俯视时配置在所述施重部与所述基部之间。

6.根据权利要求5所述的振动元件，其中，

所述施重部是沿着所述第2方向的宽度比所述臂部长的宽度放大部。

7.根据权利要求6所述的振动元件，其中，

所述槽设置在所述臂部上，

所述臂部的沿着所述第2方向的宽度为12.8μm以上、100μm以下。

8.根据权利要求6所述的振动元件，其中，

所述支承臂的沿着所述第1方向的长度小于所述臂部。

9.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述基部在所述振动臂延伸的端部的相反侧的端部中包含宽度缩小部，该宽度缩小部的沿着所述第2方向的宽度随着沿着所述第1方向从所述基部的内侧朝向外侧而连续地或者分阶段地缩小。

10.一种振子，其特征在于，该振子包含：

权利要求1至9中任意一项所述的振动元件；以及

搭载有所述振动元件的所述封装。

11.一种振荡器，其特征在于，该振荡器包含：

权利要求1至9中任意一项所述的振动元件；以及

振荡电路。

12.一种电子设备，其特征在于，该电子设备包含权利要求1至9中任意一项所述的振动元件。

13.一种传感器，其特征在于，该传感器包含权利要求1至9中任意一项所述的振动元件。

14.一种移动体，其特征在于，该移动体包含权利要求1至9中任意一项所述的振动元件。