[发明专利]一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在审
| 申请号： | 201810494016.0 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108531982A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 曾国伟;乔晓东 | 申请（专利权）人： | 嘉兴耐进新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 周兵 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气流挡板 多晶硅铸锭 盖板本体 盖板 坩埚 进气孔 涡流 进气孔位置 悬挂螺杆 测温孔 进气管 挂孔 排出 装设 供气 反弹 悬挂 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：
包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：
进气孔及气流挡板均为圆形，进气孔的中轴线与气流挡板的中轴线重合，气流挡板的直径大于进气孔的直径。
3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：
气流挡板中开设有测温孔，测温孔的中轴线与进气孔的中轴线重合，并且测温孔的直径小于进气孔的直径。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：
盖板本体中开设有一组挂孔，各挂孔围绕进气孔顺次排布，气流挡板边缘开设有一组勾孔，各勾孔围绕测温孔顺次排布，勾孔与挂孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间设有一组悬挂螺杆，悬挂螺杆顶端伸入挂孔中，与盖板本体连接，其底端伸入勾孔中，与气流挡板连接，使气流挡板悬挂于盖板本体下方。
5.根据权利要求4所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，其特征在于：
悬挂螺杆采用碳/碳复合材料制作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴耐进新材料有限公司，未经嘉兴耐进新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810494016.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
