[发明专利]一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板

说明书

本发明提出一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔，然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板，并在气流挡板中心开设测温孔，进气管出来的气流直接吹在气流挡板上，并向四周分散，由于气流反弹面的上升，将有利于减少涡流的产生，使得多晶硅铸锭表面的杂质减少，有利于提升产品质量。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板。

背景技术

金刚线切多晶随着制绒难题的解决已出现爆发式增长，金刚线切多晶面临着诸多的挑战，其中最主要的挑战就是杂质含量。相比单晶硅，铸造多晶硅锭较高的碳氮杂质在切割过程中会造成切线痕及TTV、钢线磨损、断线等不良发生，反应到电池端则为低效及漏电等电性能不良。杂质含量将成为金刚线切割细线化进程的最大障碍。常用的多晶硅铸锭坩埚在生产过程中从进气管出来的氩气直接吹在硅锭表面，然后气流从坩埚护板的开孔处流出，这样容易在坩埚的角部等区域形成涡流，使该区域杂质不易排出。因此，有必要对这种多晶硅铸锭坩埚进行结构优化，以克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，以改善硅锭顶部的气流流向，更好的将杂质排出。

本发明为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。

在本发明的一个实施例中，进气孔及气流挡板均为圆形，进气孔的中轴线与气流挡板的中轴线重合，气流挡板的直径大于进气孔的直径。

进一步，气流挡板中开设有测温孔，测温孔的中轴线与进气孔的中轴线重合，并且测温孔的直径小于进气孔的直径。

在本发明的一个实施例中，盖板本体中开设有一组挂孔，各挂孔围绕进气孔顺次排布，气流挡板边缘开设有一组勾孔，各勾孔围绕测温孔顺次排布，勾孔与挂孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间设有一组悬挂螺杆，悬挂螺杆顶端伸入挂孔中，与盖板本体连接，其底端伸入勾孔中，与气流挡板连接，使气流挡板悬挂于盖板本体下方；悬挂螺杆采用碳/碳复合材料制作。

本发明的优点在于：

该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔，然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板，并在气流挡板中心开设测温孔，进气管出来的气流直接吹在气流挡板上，并向四周分散，由于气流反弹面的上升，将有利于减少涡流的产生，使得多晶硅铸锭表面的杂质减少，有利于提升产品质量。

附图说明

图1是本发明提出的用于多晶硅铸锭坩埚的盖板的结构示意图；

图2是该盖板的侧视图；

图3是该盖板的俯视图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本发明。