[发明专利]限位连接组件及抛光机

权利要求书

1.一种限位连接组件，其特征在于，包括：

连接件，以及

用于限定半导体晶片位置的限位件，所述连接件、所述限位件中的其中一个设置有卡接部，所述连接件、所述限位件中的另一个设置有与所述卡接部相匹配的卡槽，所述连接件与所述限位件通过所述卡接部、所述卡槽固定连接。

2.根据权利要求1所述的限位连接组件，其特征在于，所述卡接部和/或所述卡槽设置有黏胶层，用于粘接所述连接件与所述限位件。

3.根据权利要求1所述的限位连接组件，其特征在于，所述限位件为与所述晶片相匹配的第一环状结构，所述连接件为与所述限位件相匹配的第二环状结构；所述卡接部设置在所述第一环状结构、所述第二环状结构中的一个结构的环形面上，所述卡槽设置在所述第一环状结构、所述第二环状结构中的另一个结构的环形面上。

4.根据权利要求3所述的限位连接组件，其特征在于，所述卡接部为L型结构，所述卡槽为与所述L型结构相匹配的L型槽，所述L型结构的一端与所述第一环状结构、所述第二环状结构中的一个结构连接。

5.根据权利要求4所述的限位连接组件，其特征在于，所述限位连接组件还包括卡块，所述卡块用于配合所述L型槽卡持所述L型结构。

6.根据权利要求3所述的限位连接组件，其特征在于，所述卡接部为环形卡条，所述卡槽为与所述环形卡条相匹配的环形槽。

7.根据权利要求1所述的限位连接组件，其特征在于，所述卡接部为凸块；所述连接件、所述限位件中的其中一个设置有多个所述凸块，所述连接件、所述限位件中的另一个设置有与多个所述凸块相匹配的卡槽。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的限位连接组件，其特征在于，所述限位件设置有排气通孔。

9.根据权利要求1-7中任意一项所述的限位连接组件，其特征在于，所述限位件远离所述连接件的一端开设有导流槽。

10.一种抛光机，其特征在于，包括传动组件及如权利要求1-9中任意一项所述的限位连接组件，所述限位连接组件中的连接件远离限位件的一端与所述传动组件连接。