[发明专利]一种芯片清洗系统及方法在审
| 申请号： | 201810509453.5 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108580395A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 魏垚 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/14;C02F9/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 辛姗姗 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片清洗 废液净化 废水 废水净化 净化处理 系统净化 进液口 排液口 连通 净化 | ||
1.一种芯片清洗系统，其特征在于，包括芯片清洗机构和废液净化机构；
所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括储液机构，所述储液机构的进液口与所述废液净化机构的排液口连通，所述储液机构的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述废液净化机构包括过滤设备，所述过滤设备的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述过滤设备的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述过滤设备包括过滤器，所述过滤器内填充有滤料；
所述过滤器的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述过滤器的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述滤料包括活性炭、粒砾石、石英砂、磁铁矿和无烟煤中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述过滤设备还包括反渗透设备，所述反渗透设备的进液口与所述过滤器的排液口连通，所述反渗透设备的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。
7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述废液净化机构还包括用于对从所述芯片清洗机构排出的废液进行酸碱性调节的均化设备；
所述均化设备的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述均化设备的排液口与所述过滤设备的进液口连通。
8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述芯片清洗机构包括喷淋装置，所述喷淋装置的进液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述芯片清洗机构还包括芯片固定装置；
所述喷淋装置的喷淋方向朝向固定在所述芯片固定装置上的芯片。
10.一种芯片清洗方法，其特征在于，应用于权利要求1-9任一项所述的芯片清洗系统，所述方法包括：
使用芯片清洗机构清洗芯片，将清洗所述芯片产生的废液直接排放至废液净化机构；
使用所述废液净化机构对所述废液进行净化处理。
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