[发明专利]一种芯片清洗系统及方法

说明书

本发明提供了一种芯片清洗系统及方法。所述芯片清洗系统包括芯片清洗机构和废液净化机构，所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。基于废液净化机构的设置，使得芯片清洗系统具有净化废水的功能，能够立即对芯片清洗机构产生的废水进行净化处理，相比于背景技术，使用本发明实施例提供的芯片清洗系统净化废水能够缩短废水净化时间，提高废水净化效率。

技术领域

本发明涉及芯片技术领域，具体涉及芯片清洗系统及方法。

背景技术

薄膜太阳能电池又称薄膜太阳能芯片，是一种利用太阳光直接发电的新型光电半导体薄片，因具有薄膜厚度小、可弯曲、原料成本低等优点而被广泛使用。

薄膜太阳能电池包括基板、前板、吸收层、缓冲层等多个层结构。在制作薄膜太阳能电池时，通常在制作出一个或多个层结构后使用清洗剂对制备出的层结构进行清洗，以去除层结构表面的杂质，保证薄膜太阳能电池的质量。

现有技术中，薄膜太阳能电池的清洗设备包括清洗装置和废液存储装置，清洗装置用于对薄膜太阳能电池制作过程中的层结构进行清洗，废液存储装置用于对清洗层结构时产生的废液进行存储。净化废液时，需要将废液存储装置移动至废液净化站，由废液净化站对废液进行净化处理。现有的清洗设备和废液净化站位于不同位置，移动废液存储装置至废液净化站需要耗费较长时间，导致废水净化耗时较长，使得废水净化效率较低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种芯片清洗系统，以解决废水净化耗时较长，废水净化效率较低的问题。

为了解决上述问题，本发明公开了一种芯片清洗系统，包括芯片清洗机构和废液净化机构；

所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。

优选地，所述系统还包括储液机构，所述储液机构的进液口与所述废液净化机构的排液口连通，所述储液机构的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。

优选地，所述废液净化机构包括过滤设备，所述过滤设备的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述过滤设备的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。

优选地，所述过滤设备包括过滤器，所述过滤器内填充有滤料；

所述过滤器的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述过滤器的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。

优选地，所述滤料包括活性炭、粒砾石、石英砂、磁铁矿和无烟煤中的至少一种。

优选地，所述过滤设备还包括反渗透设备，所述反渗透设备的进液口与所述过滤器的排液口连通，所述反渗透设备的排液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。

优选地，所述废液净化机构还包括用于对从所述芯片清洗机构排出的废液进行酸碱性调节的均化设备；

所述均化设备的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通，所述均化设备的排液口与所述过滤设备的进液口连通。

优选地，所述芯片清洗机构包括喷淋装置，所述喷淋装置的进液口与所述芯片清洗机构的进液口连通。

优选地，所述芯片清洗机构还包括芯片固定装置；

所述喷淋装置的喷淋方向朝向固定在所述芯片固定装置上的芯片。

本发明还公开了一种芯片清洗方法，应用于上述的芯片清洗系统，所述方法包括：

使用芯片清洗机构清洗芯片，将清洗所述芯片产生的废液直接排放至废液净化机构；

使用所述废液净化机构对所述废液进行净化处理。

与现有技术相比，本发明包括以下优点：