[发明专利]表面性状测量装置有效
申请号: | 201810510846.8 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN108931225B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 梶原俊彦;滨伸行;中山树;金松敏裕;本田博臣 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20;G01B21/30;G01B5/20;G01B5/28 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 性状 测量 装置 | ||
1.一种表面性状测量装置,其包括:
测量器,其被构造成通过与测量对象物的表面接触或不接触进行扫描测量;以及
测量机主体部,其包括使所述测量器相对于所述测量对象物移动的驱动机构部,所述测量器被设置为能够通过将所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器而被更换,其中,
所述测量器包括用于将所述测量器安装到所述驱动机构部的支架,所述支架包括第一连接器,所述第一连接器用于将信号传送到所述测量器和从所述测量器接收信号以及对所述测量器给电,
所述驱动机构部包括支撑框架,所述支架可拆卸地安装到所述支撑框架,所述支撑框架包括电连接到所述第一连接器的第二连接器,
在所述第一连接器与所述第二连接器连接的状态下,所述信号在所述第一连接器与所述第二连接器之间传送和接收,所述第二连接器对所述第一连接器给电,并且
当所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器时,所述第一连接器和所述第二连接器能够热插拔,
所述支架包括以从端面突起的方式设置的轴,
所述支撑框架包括接收所述轴并且检测所述轴是否存在的安装/拆卸检测传感器,
当所述安装/拆卸检测传感器检测到所述轴存在时,所述第二连接器和所述第一连接器电连接,并且
当所述安装/拆卸检测传感器检测到所述轴不存在时,所述第二连接器和所述第一连接器电断开。
2.根据权利要求1所述的表面性状测量装置,其特征在于,所述表面性状测量装置还包括:
台,在该台处用于更换的所述测量器待机,
其中,所述台包括所述支撑框架。
3.一种表面性状测量装置,其包括:
测量器,其被构造成通过与测量对象物的表面接触或不接触进行扫描测量;以及
测量机主体部,其包括使所述测量器相对于所述测量对象物移动的驱动机构部,所述测量器被设置为能够通过将所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器而被更换,其中,
所述测量器包括用于将所述测量器安装到所述驱动机构部的支架,所述支架包括第一连接器,所述第一连接器用于将信号传送到所述测量器和从所述测量器接收信号以及对所述测量器给电,
所述驱动机构部包括支撑框架,所述支架可拆卸地安装到所述支撑框架,所述支撑框架包括电连接到所述第一连接器的第二连接器,
在所述第一连接器与所述第二连接器连接的状态下,所述信号在所述第一连接器与所述第二连接器之间传送和接收,所述第二连接器对所述第一连接器给电,并且
当所述测量器安装到所述驱动机构部和从所述驱动机构部拆卸所述测量器时,所述第一连接器和所述第二连接器能够热插拔,
所述支架包括以贯通所述支架的方式设置的轴状的夹持器,
所述夹持器以能够绕着轴线转动且在轴向上不相对于所述支架向前和向后移动的方式设置,
所述支撑框架包括用于接收所述夹持器的夹持孔,并且
所述夹持器和所述夹持孔通过所述夹持器的转动操作接合和分离。
4.根据权利要求3所述的表面性状测量装置,其特征在于,
所述夹持器和所述夹持孔中的一方包括螺旋槽,并且
所述夹持器和所述夹持孔中的另一方包括由所述螺旋槽接收的锁定键。
5.根据权利要求3所述的表面性状测量装置,其特征在于,
所述夹持器具有端部,所述端部具有作为手动操作部件的手柄,并且
所述手柄为杆式以便被握持。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的表面性状测量装置,其特征在于,所述表面性状测量装置还包括:
台,在该台处用于更换的所述测量器待机,
其中,所述台包括所述支撑框架。
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