[发明专利]表面性状测量装置

说明书

提供一种表面性状测量装置，其中，更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架，并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架，支架可拆卸地安装到支撑框架，并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下，信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收，第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即，当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时，测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

相关申请的应用

本申请要求2017年5月24日递交的日本专利申请No.2017-102609的优先权并且基于该申请，通过引用将其公开的全部内容并入本文。

技术领域

本发明涉及表面性状测量装置。

背景技术

存在如下表面性状测量装置：其在使触针与测量对象物的表面接触的同时移动触针，以从触针当时的位移获得测量对象物的形状数据(JP 5735337 B和JP 2017-3559 A)。

图1是表面性状测量装置10的外观的立体图。

表面性状测量装置10包括测量机主体部20以及测量器70，测量器70能够以安装到测量机主体部20和从测量机主体部20拆卸的方式被更换。

测量机主体部20包括基座30和驱动机构部40。

以立于基座30的方式设置驱动机构部40。

驱动机构部40包括Z柱41、Z滑动件42、Z驱动机构43和X驱动机构50。

以立于基座30的上表面的方式设置Z柱41。

以能够沿着Z柱41在上下方向(Z轴方向)上移动的方式设置Z滑动件42。

Z驱动机构43设置于Z柱41内部并且使Z滑动件42在上下方向上移动。作为Z驱动机构43的示例，能够使用进给螺杆机构。例如，球螺杆轴与Z柱41平行地设置，并且棘爪螺母构件与球螺杆轴螺纹连接。于是，螺母构件联接到Z滑动件42。

图2示出了Z滑动件42和测量器70的内部机构。

X驱动机构50设置于Z滑动件42内部并且使悬挂并支撑于Z滑动件42下方的测量器70在X轴线方向上移动。

如图2所示，在Z滑动件42的壳体内部，X驱动机构50包括导轨51、X滑动件52和进给机构53。导轨51平行于X轴线方向设置。以能够沿着导轨51在X轴线方向上移动的方式设置X滑动件52。进给机构53使X滑动件52沿着导轨51移动。

进给机构53包括进给螺杆轴54、马达55和传送机构56，并且通过马达55的动力转动进给螺杆轴54。棘爪螺母构件(未示出)与进给螺杆轴54螺纹连接，并且螺母构件联接到X滑动件52。

尽管未示出，但是移动台架可以配置于基座。

如图2所示，测量器70包括壳体71、支架72、测量臂75、触针77和位移检测器78。

支架72悬挂并支撑于X滑动件52。

支架72可以通过螺栓73安装到X滑动件52和从X滑动件52拆卸。支架72支撑测量臂75，使得测量臂75能够使用转动轴76作为支点在上下方向上摆动(弧状地移动)。

触针77设置于测量臂75的顶端。位移检测器78检测测量臂75的弧状移动量(在Z轴线方向上的位移量)。

利用以上构造，能够通过驱动机构部40使测量器70相对于测量对象物移动。