[发明专利]传送手、传送装置、光刻装置、物品的制造方法以及保持机构

权利要求书

1.一种用于保持被传送物体的传送手，该传送手包括：

基部；

垫，所述垫构造成吸附被传送物体；以及

支撑部件，所述支撑部件固定于所述基部上并构造成支撑所述垫，

其中：所述支撑部件构造成通过三个或更多支撑部分支撑所述垫，所述三个或更多支撑部分构造成弹性变形以使所述垫沿分别围绕在水平平面中彼此垂直的两个轴线的两个旋转方向倾斜；以及

其中：所述三个或更多支撑部分构造成变形使得所述垫顺应布置于所述垫上的被传送物体的形状。

2.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述支撑部件以使得所述垫能够沿竖直方向移动但限制所述垫沿水平方向移动的方式支撑所述垫。

3.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述垫具有圆形外部形状，并且，

所述三个或更多支撑部分均包括弯曲部分，所述弯曲部分沿所述垫的周边从接触部分延伸，支撑部分在所述接触部分处与所述垫接触。

4.根据权利要求3所述的传送手，其中：所述三个或更多支撑部分中的每个支撑部分的弯曲部分沿所述垫的周边沿同一方向延伸。

5.根据权利要求4所述的传送手，其中：所述支撑部件包括连接部分，所述连接部分与所述三个或更多支撑部分中的每个支撑部分的在与所述垫接触的一侧上的端部相对的一侧上的端部连接，并且所述支撑部件通过所述连接部分而固定于所述基部；以及

其中：所述三个或更多支撑部分中的每个支撑部分的弯曲部分具有这样的总长度，该总长度比在所述垫的中心位置与固定位置之间的距离长，所述连接部分在所述固定位置处固定于所述基部。

6.根据权利要求5所述的传送手，其中：所述连接部分具有环形形状。

7.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述三个或更多支撑部分布置成关于所述垫的中心旋转对称。

8.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述三个或更多支撑部分中的每个支撑部分是片簧。

9.根据权利要求1所述的传送手，还包括：作为环形部件的第二弹性部件，所述第二弹性部件以与所述基部的顶表面和所述垫的底表面接触的方式布置在所述基部和垫之间。

10.根据权利要求9所述的传送手，其中：所述垫包括通孔和用于吸附被传送物体的吸附槽，所述通孔穿过所述吸附槽和所述垫的底表面，以及

所述基部包括排气孔，所述排气孔的一端与用于排出吸附槽的空气的排气单元连通，所述排气孔的另一端与所述通孔连通，以及

所述第二弹性部件布置在所述基部和垫之间，以便形成槽道，在所述第二弹性部件内部，所述槽道与所述通孔和排气孔连通。

11.根据权利要求9所述的传送手，其中：所述第二弹性部件固定在基部上，所述第二弹性部件和所述垫构造成彼此分离。

12.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述支撑部件由具有导电性的材料来构成。

13.根据权利要求1所述的传送手，其中：绝缘层形成在所述支撑部件的表面上。

14.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述传送手具有从垫至基部的导电性。

15.根据权利要求1所述的传送手，其中：所述支撑部件包括均构造成支撑所述垫的正好三个部分。