[发明专利]自动化物料处理方法与系统

权利要求书

1.一种自动化物料处理系统(automated material handling system，AMHS)，适用于一半导体制造设施(semiconductor fabrication facility，FAB)，其特征在于，该自动化物料处理系统包括：

多个感测器，由一轨道所支撑，其中该轨道具有一腔室与一外表面，该些感测器是用以收集感测器数据，该感测器数据用以描述依靠该轨道的该腔室沿着该轨道移动的一车辆，其中该些感测器具有一第一感测器与一第二感测器，该第一感测器是安装在从该轨道延伸出去的一感测器结构上，该感测器结构由该轨道所支撑，该第二感测器设置在该外表面上，该车辆用以承载至少一晶圆；以及

一监视模块，用以：

基于该感测器数据侦测一触发事件，并且

启动一改善措施以响应该触发事件。

2.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，其特征在于，其中该车辆是用以承载一晶圆承载器，该晶圆承载器存放该至少一晶圆。

3.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，其特征在于，该车辆是用以通过滚动运动在该轨道上移动。

4.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，其特征在于，该轨道是静止的且该车辆通过吊运车悬吊于该轨道下。

5.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，其特征在于，其中该监视模块用以：

基于历史侦测器数据的分析来决定该触发事件，其中该分析是以下至少其中之一：倍频分析(octave analysis)，频谱分析，傅立叶转换分析，联合时间频率分析，阶次分析(order analysis)，阶次追踪分析，波德图分析(bode plot analysis)，频率响应分析，震动分析，以及压力分析。

6.根据权利要求5所述的自动化物料处理系统，其特征在于，基于该分析，该触发事件被决定为用于该感测器数据的一阈值。

7.根据权利要求6所述的自动化物料处理系统，其特征在于，该阈值为离群值。

8.一种自动化物料处理系统，其特征在于，包括：

一感测器，由一静态轨道所支撑，其中该感测器用以收集感测器数据，该感测器数据用以描述沿着该静态轨道移动的一车辆，该车辆是通过一吊运车悬吊于静态轨道，该车辆是通过滚动运动沿着该静态轨道运动并同时承载至少一晶圆；以及

一监视模块，用以：

基于从该感测器所取得的历史感测器数据的一分析来决定一触发事件，其中基于该分析，该触发事件被决定为用于该感测器数据的一阈值，该阈值为离群值，

基于该感测器数据来侦测该触发事件，以及

启动一改善措施以响应该触发事件，其中该触发事件是基于该历史感测器数据的一噪音震动分析来决定。

9.根据权利要求8所述的自动化物料处理系统，其特征在于，其中该感测器数据是噪音与震动的至少其中之一的瞬态响应与静态响应的至少其中之一。

10.根据权利要求8所述的自动化物料处理系统，其特征在于，其中该感测器是位于该静态轨道的外表面上。

11.根据权利要求8所述的自动化物料处理系统，其特征在于，该感测器是安装在从该轨道延伸出去的一感测器结构上，该感测器结构由该静态轨道所支撑。

12.根据权利要求8所述的自动化物料处理系统，其特征在于，其中该静态轨道在一竖井中垂直地延伸。