[发明专利]一种超声波传感器及其制作方法、显示装置

说明书

本发明实施例公开了一种超声波传感器及其制作方法、显示装置，其中，超声波传感器包括：基底和至少一个设置在基底上的传感器组件；传感器组件包括：第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层；其中，基底靠近传感器组件的一侧设置有凹槽，压电层在基底上的正投影与凹槽在基底的区域存在重叠部分。本发明实施例通过基底位于压电层下方的区域设置凹槽，能够减少基底对超声波传感器在交流电信号的激励下产生的机械振动信号的吸收，保证超声波信号的质量，从而提高了超声波传感器的灵敏度。

技术领域

本发明实施例涉及传感器技术领域，具体涉及一种超声波传感器及其制作方法、显示装置。

背景技术

超声波传感器是利用超声波的特性研制而成的传感器，是一种可逆传感器，它在交流电信号的激励下可以产生同频率的机械振动，从而作为超声波的发射器，还可以在一定频率的超声波振动下产生相应频率的电信号，从而作为超声波的接收器。

经发明人研究发现，现有的超声波传感器在交流电信号的激励下产生机械振动时，部分机械振动信号会被吸收，造成机械振动信号的损失，从而降低超声波传感器的灵敏度。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种超声波传感器及其制作方法、显示装置，能够减少机械振动信号的损失，提高超声波传感器的灵敏度。

第一方面，本发明实施例提供一种超声波传感器，包括：基底和至少一个设置在所述基底上的传感器组件；所述传感器组件包括：第一电极、第二电极和设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；

其中，所述基底靠近所述传感器组件的一侧设置有凹槽，所述压电层在所述基底上的正投影与所述凹槽在基底的区域存在重叠部分。

可选地，所述第一电极设置在所述压电层靠近所述基底的一侧；

所述第一电极沿第一方向的宽度大于所述凹槽沿第一方向的宽度，所述第一电极沿第二方向的宽度小于所述凹槽沿第二方向的宽度；

或者，所述第一电极沿第一方向的宽度小于所述凹槽沿第一方向的宽度，所述第一电极沿第二方向的宽度大于所述凹槽沿第二方向的宽度；

其中，所述第一方向与第一电极、压电层和第二电极的重叠方向垂直，所述第二方向与所述第一方向垂直。

可选地，所述压电层在基底上的正投影与所述第一电极在基底上的正投影重合。

可选地，所述凹槽在基底上的区域覆盖所述压电层在基底上的正投影。

可选地，所述多个传感器组件共用一第一电极，和/或共用一第二电极；

所述超声波传感器还包括：设置在所述压电层远离基底一侧的平坦层；

其中，所述第二电极通过平坦层过孔与压电层连接。

可选地，所述凹槽的深度为3～10微米，所述凹槽沿第一方向的宽度为20～50微米，所述凹槽沿第二方向的宽度为20～50微米。

第二方面，本发明实施例还一种超声波传感器的制作方法，包括：

提供一基底；

在基底上形成凹槽；

在所述基底形成凹槽的一侧形成传感器组件；其中，所述传感器组件包括：第一电极、第二电极和设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；所述压电层在所述基底上的正投影与所述凹槽在所述基底的区域存在重叠部分。

可选地，所述在基底上形成凹槽的一侧形成传感器组件包括：

利用填充材料填充所述基底上形成的凹槽；

在基底上形成第一电极；

通过刻蚀工艺刻蚀所述填充材料；