[发明专利]吸盘

权利要求书

1.一种吸盘，其特征在于，包括：吸附单元、支撑固定单元、整体冷却单元及局部冷却单元，所述吸附单元设置于所述支撑固定单元上，所述局部冷却单元与所述整体冷却单元连通，并穿过所述支撑固定单元与所述吸附单元接触；

所述局部冷却单元包括中空螺钉和连接块，所述中空螺钉穿过所述支撑固定单元，并卡设在所述支撑固定单元上，所述中空螺钉的顶部与所述吸附单元接触；所述中空螺钉的底部与所述连接块连接，所述中空螺钉通过连接块与所述整体冷却单元中的冷却介质连通。

2.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述中空螺钉与所述连接块之间由密封圈密封连接；所述中空螺钉与所述支撑固定单元之间由密封圈密封连接。

3.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述局部冷却单元的数量为若干个，若干个局部冷却单元按对称、均布的方式排列。

4.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述整体冷却单元包括若干冷却管路及设置于冷却管路上的流速阀，所述局部冷却单元与所述整体冷却单元中的冷却管路连通。

5.如权利要求4所述的吸盘，其特征在于，所述若干冷却管路平行分布。

6.如权利要求4所述的吸盘，其特征在于，所述若干冷却管路呈网格状分布。

7.如权利要求4所述的吸盘，其特征在于，还包括若干温度探测单元，设置于所述支撑固定单元上，以探测所述支撑固定单元不同区域的温度。

8.如权利要求7所述的吸盘，其特征在于，还包括控制器，所述控制器接收所有温度探测单元反馈的信号，并输出控制信号给各个温度探测单元所在区域的流速阀，流速阀根据所述控制信号调节所在冷却管路中冷却介质的流量。

9.如权利要求7所述的吸盘，其特征在于，还包括恒温箱，用于容置冷却介质。