[发明专利]一种位移测量系统和光刻机

权利要求书

1.一种位移测量系统，用于测量第一运动台沿着预定方向移动的位移信息，其特征在于，所述位移测量系统包括：

第二运动台，平行于所述预定方向移动；

激光干涉仪测量装置，用于测量所述第二运动台沿着所述预定方向移动的位移信息；

位移转换装置，包括齿轮系，所述齿轮系包括第一齿轮系和第二齿轮系；所述第一齿轮系用于将所述第二运动台沿所述预定方向的移动转换为所述第二运动台按照预定比例放大后的位移并驱动所述第一运动台移动；所述第二齿轮系用于将所述第二运动台沿所述预定方向的移动转换为所述第二运动台按照预定比例放大后的位移并驱动所述第一运动台移动；以及

控制装置，用于将所述第二运动台沿着预定方向移动的位移信息按预定比例放大/缩小为所述第一运动台沿着预定方向移动的位移信息；

其中，所述第一运动台、所述第二运动台和所述激光干涉仪测量装置沿着所述预定方向依次分布。

2.如权利要求1所述位移测量系统，其特征在于，所述第一齿轮系的输入端与所述第二运动台连接，所述第一齿轮系的输出端与所述第一运动台连接，所述第二齿轮系的输入端与所述第二运动台连接，所述第二齿轮系的输出端与所述第一运动台连接；所述第一齿轮系的所述预定比例等于所述第二齿轮系的所述预定比例。

3.如权利要求2所述位移测量系统，其特征在于，所述第一齿轮系包括第一齿条、第一齿轮、第二齿条、第二齿轮、第三齿轮、第三齿条、第四齿轮和第四齿条；所述第一齿条与所述第二运动台固定连接，所述第一齿条用于驱动与所述第一齿条啮合的第一齿轮做圆周运动，所述第一齿轮用于驱动与所述第一齿轮啮合的第二齿条移动，所述第二齿条用于驱动与所述第二齿条啮合的第二齿轮做圆周运动，所述第二齿轮用于驱动与所述第二齿轮同轴设置的第三齿轮做圆周运动，所述第三齿轮用于驱动与所述第三齿轮啮合的第三齿条移动，所述第三齿条用于驱动与所述第三齿条啮合的第四齿轮做圆周运动，所述第四齿轮用于驱动与所述第四齿轮啮合的第四齿条移动，所述第四齿条与所述第一运动台固定连接；所述第一齿条和第四齿条平行于所述预定方向设置；所述第三齿轮的节圆的大小与所述第二齿轮的节圆的大小之比等于所述预定比例；

所述第二齿轮系包括第五齿条、第五齿轮、第六齿条、第六齿轮、第七齿轮、第七齿条、第八齿轮和第八齿条；所述第五齿条与所述第二运动台固定连接，所述第五齿条用于驱动与所述第五齿条啮合的第五齿轮做圆周运动，所述第五齿轮用于驱动与所述第五齿轮啮合的第六齿条移动，所述第六齿条用于驱动与所述第六齿条啮合的第六齿轮做圆周运动，所述第六齿轮用于驱动与所述第六齿轮同轴设置的第七齿轮做圆周运动，所述第七齿轮用于驱动与所述第七齿轮啮合的第七齿条移动，所述第七齿条用于驱动与所述第七齿条啮合的第八齿轮做圆周运动，所述第八齿轮用于驱动与所述第八齿轮啮合的第八齿条移动，所述第八齿条与所述第一运动台固定连接；所述第五齿条和第八齿条平行于所述预定方向设置；所述第七齿轮的节圆的大小与所述第六齿轮的节圆的大小之比等于所述预定比例。

4.如权利要求1-3中任一项所述位移测量系统，其特征在于，所述激光干涉仪测量装置通过向所述第二运动台发射测量光束，并通过接收并分析第二运动台反射的测量光束得到所述第二运动台的位移信息；所述位移测量系统还包括：

温度传感器，用于测量所述激光干涉仪测量装置和所述第二运动台之间测量光束周围的温度信息；以及

压力传感器，用于测量所述激光干涉仪测量装置和所述第二运动台之间的测量光束周围的压力信息；

其中，所述控制装置还用于将所述温度信息和压力信息转换为测量光束的波长，并实时补偿所述测量光束的波长。

5.如权利要求1-3中任一项所述位移测量系统，其特征在于，所述位移测量系统还包括一密闭腔体，所述第二运动台和所述激光干涉仪测量装置设置在所述密闭腔体内。