[发明专利]一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法在审
| 申请号： | 201810552871.2 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108816929A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;侯宇 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B1/00;C23C14/34;F26B7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李进 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 螺纹 生产过程 钽靶材 钽靶 半成品 清洁剂 超声波处理 表面涂抹 焊接性能 螺纹表面 清洗工序 使用性能 制作过程 超声波 误码率 油污 靶材 吹干 溅射 脏污 精细 生产 | ||
1.一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
(A)将钽螺纹超声波处理3-10min后，表面涂抹清洁剂；
(B)再经过刷洗、吹干、真空干燥即可。
2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(A)中，超声波处理过程中，温度控制在80℃以上。
3.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(A)中，超声波处理过程中，采用热水与清洁剂混合进行处理。
4.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(A)中，超声波处理的时间为4-6min，更优地为5min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，涂抹所述清洁剂后刷洗的方法包括：采用刷子反复由内到外刷3-4次后再进行冲洗30-60s。
6.根据权利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，冲洗采用的是高压水枪。
7.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，真空干燥的时间控制在30min以上。
8.根据权利要求7所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，真空干燥的时间控制在40-60min之间。
9.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，真空干燥的温度控制在300-400℃之间。
10.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤(B)中，真空干燥的真空度控制在100Pa以下。
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