[发明专利]借助于材料转化的固体分开

权利要求书

1.一种用于将至少一个固体部分与固体分离的方法，其中所述方法至少包括如下步骤：

借助于激光修改所述固体的晶格，

其中在所述晶格中产生多个修改部，

其中所述晶格由于所述修改部的状态调节在围绕所述修改部的区域中至少在所述区域的各一个部分中裂开，

其中通过在所述修改部的区域中的裂纹预设剥离区域，

其中所述固体包括碳化硅，

其中激光束经由表面进入至少部分透明的固体（1）中，

其中根据所述激光辐射引起能量输入的材料特定的位置分辨的累加，由此在一个限定的位置处或在多个限定的位置处以及在限定的时间内得出所述固体（1）的限定的温度处理，

并且其中沿着一个方向与沿着另两个方向相比，产生更多的修改部，其中所述方向包括长度方向、宽度方向和高度方向，

其中所述固体具有如下长度，该长度使得多于2个下述固体层从所述固体中分开，该固体层具有小于1000μm的厚度，

其中所述裂纹是亚临界的并且在所述固体中以小于5mm扩展，

其中由于机械应力产生的主裂纹沿着所述剥离区域被引导穿过所述剥离区域，

其中所述主裂纹由于所述应力而在所述固体中沿着所述剥离区域扩展，通过所述剥离区域至少将多个之前产生的亚临界的裂纹在修改部的区域中通过该裂纹彼此连接，

其中所述剥离区域能够被预设为，使得用于将固体层从固体中分开的裂纹能够分部段地在不同的平面上伸展，使得裂纹伸展包含多个几何拐点。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述固体由碳化硅构成。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

激光器的激光束的波长选择为，使得所述固体的线性吸收小于0.1cm^-1。

4.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

将激光器的所述激光束的能量选择为，使得在所述固体中沿至少一个方向的材料转化小于瑞利长度的三倍。

5.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述固体是铸块。

6.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

设有0.01μm和20μm之间的线间距。

7.根据权利要求6所述的方法，

其特征在于，

设有3μm的线间距。

8.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

设有0.01μm和10μm之间的脉冲间距。

9.根据权利要求8所述的方法，

其特征在于，

设有0.2μm的脉冲间距。

10.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述激光束（4）经由抛光的表面（5）进入到至少部分透明的所述固体（1）中。

11.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

在每次将所述固体层分开之后，以切削的方式加工剩余固体的重新露出的表面。

12.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

产生所述修改部，使得所述修改部在没有其他外部引入的脉冲的情况下不能够实现所述固体层与所述固体的分离。

13.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

焦点与所述固体的进入表面间隔开小于1000μm，其中至少个别光束部分经由所述进入表面进入到所述固体中以产生物理的修改部。