[发明专利]一种箱式退火炉及其加热方法

权利要求书

1.一种箱式退火炉，其特征在于：包括箱体和箱盖，所述箱体内设置有承托装置和加热装置，所述加热装置包含有加热器和电热棒，所述加热器位于箱体内壁两侧，所述电热棒位于箱体内壁顶部，所述加热器和电热棒均与箱体内壁固定连接，所述承托装置包含有托架和盘式转轴，所述托架呈镂空状设置，所述箱体下面设置有电动机，所述电动机上连有联轴器，所述联轴器上连有转动轴，所述电动机与联轴器固定连接，所述转动轴的一端通过联轴器和电动机固定连接，所述转动轴的另一端与托架螺栓连接，所述盘式转轴位于托架下面，所述盘式转轴两端分别与托架和箱体内壁固定连接，所述箱体两侧设置有电源和控制装置，所述电源和控制装置均与箱体螺栓连接，所述加热器、电热棒、电动机和控制装置均匀电源电性连接，所述加热器、电热棒和电动机均与控制装置电性连接，所述托架呈圆筒状设置，所述托架内设置有托盘，所述托架上设置有与托盘相配对的凹槽，所述凹槽上设置有直线电动滑轨，所述直线电动滑轨嵌入凹槽内，所述托盘与直线电动滑轨上的滑子螺栓连接，所述托盘呈等间距分布设置，所述托盘通过直线电动滑轨与托架固定连接，所述托盘上设置有用于放置半导体芯片的石棉网，所述石棉网与托盘螺栓连接，所述直线电动滑轨与电源电性连接，所述直线电动滑轨与控制装置电性连接，所述加热器设置有一个以上，所述加热器呈对称分布设置，所述箱体内设置有温度传感器，所述温度传感器位于盘式转轴左侧，所述温度传感器与箱体固定连接，所述温度传感器与电源电性连接，所述温度传感器与控制装置电性连接，所述箱体背面设置有风扇，所述风扇设置有四个，所述风扇上设置有外罩，所述外罩包裹住风扇，所述外罩与箱体螺栓连接，所述风扇通过外罩与箱体转动连接，所述风扇与电源电性连接，所述风扇与控制装置电性连接，所述箱盖上设置有合页，所述合页两端分别与箱体和箱盖螺栓连接，所述箱盖通过合页与箱体铰接连接，所述箱盖上设置有密封胶，所述密封胶与箱盖粘合连接，所述箱体下面设置有支撑脚，所述支撑脚呈对称分布设置，所述支撑脚与箱体固定连接，所述支撑脚上开有减重孔，所述箱体外表面设置有隔热膜，所述隔热膜包裹住箱体，所述隔热膜与箱体粘合连接,该箱式退火炉的加热方法，包括以下步骤：

1）通过电源启动控制装置和直线电动滑轨；

2）打开箱盖，采用控制装置驱动直线电动滑轨将托盘推出；

3）放进需要进行退火处理的半导体芯片在托盘的石棉网上，采用控制装置将其拉入箱体内，关上箱盖；

4）通过电源再次开启加热器、电热棒、温度传感器、电动机、风扇，在加热器和电热棒升温加热过程中，电动机驱动转动轴顺时针旋转，其中，速度为1～3r/s，风扇也顺时针转动，其中，转速为150～250r/min；

5）温度传感器检测箱体内温度达到200～800℃时，采用控制装置停止加热器和电热棒进行加热工作。