[发明专利]微型元件结构

权利要求书

1.一种微型元件结构，其特征在于，包括：

基板；

至少一微型元件，配置于所述基板上且具有相对远离所述基板的顶表面、相对于所述顶表面的底表面以及连接所述顶表面与所述底表面的周围表面；

至少一固定结构，配置于所述基板上，其中从剖面观之，所述固定结构在所述基板的法线方向上的厚度从所述微型元件的所述顶表面与所述周围表面的交界处往所述基板逐渐增加；以及

至少一缓冲结构，配置于所述固定结构与所述基板之间，其中所述固定结构通过所述缓冲结构而连接至所述基板上，所述固定结构的材质不同于所述缓冲结构的材质，且所述固定结构的杨式模量大于所述缓冲结构的杨式模量。

2.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构完全暴露出所述微型元件的所述顶表面，且覆盖所述缓冲结构。

3.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构包括多个覆盖部以及多个连接部，所述多个覆盖部彼此分离且覆盖部分所述顶表面，而每一所述多个连接部从所述顶表面的边缘连接所述覆盖部且覆盖所述缓冲结构。

4.根据权利要求3所述的微型元件结构，其特征在于，每一所述多个覆盖部至所述顶表面的对应的所述边缘具有最大距离，而所述最大距离与所述边缘的长度的比值小于等于0.2。

5.根据权利要求3所述的微型元件结构，其特征在于，每一所述多个连接部在所述顶表面的所述边缘的宽度与相应的所述边缘的长度的比值介于0.01至0.6之间。

6.根据权利要求3所述的微型元件结构，其特征在于，所述微型元件的中心在所述基板上的正投影至每一所述多个覆盖部在所述基板上的正投影的最短距离相同。

7.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构包括覆盖部以及至少一连接部，所述覆盖部覆盖部分所述顶表面，而所述连接部从所述顶表面的边缘连接所述覆盖部且覆盖所述缓冲结构。

8.根据权利要求7所述的微型元件结构，其特征在于，所述连接部在所述顶表面的所述边缘的宽度与相应的所述边缘的长度的比值介于0.01至0.6之间。

9.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，在单位面积内，所述缓冲结构在所述基板上的正投影面积与所述固定结构在所述基板上的正投影面积的比值介于0.2至0.9之间。

10.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述缓冲结构远离所述微型元件。

11.根据权利要求10所述的微型元件结构，其特征在于，所述缓冲结构在所述基板上的正投影与所述微型元件在所述基板上的正投影相隔最小距离，而所述最小距离小于等于10微米。

12.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构在所述微型元件的所述顶表面上的正投影面积与所述顶表面的面积的比值小于等于0.2。

13.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述微型元件还包括绝缘层，而所述绝缘层至少覆盖所述周围表面以及部分所述底表面，而所述固定结构直接接触所述绝缘层。

14.根据权利要求13所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构的材质不同于所述绝缘层的材质。

15.根据权利要求13所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构的厚度小于等于所述绝缘层的厚度。

16.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述固定结构的重心低于所述微型元件的重心。

17.根据权利要求1所述的微型元件结构，其特征在于，所述顶表面的宽度大于所述底表面的宽度。