[发明专利]用于冷却加热管的热交换器和所述冷却的方法在审

专利信息
申请号: 201810570186.2 申请日: 2011-12-09
公开(公告)号: CN108759513A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: G·霍夫曼;P·斯库克 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: F28D5/00 分类号: F28D5/00;F28D7/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 杨学春;侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 冷却管 热交换器 加热管 冷却 气雾剂 热接触 配置
【权利要求书】:

1.一种冷却加热管(10)的热交换器(100),包含:

至少两个冷却管(20),其中所述至少两个冷却管被布置以使得至少两个冷却管(20)的每个冷却管被配置以与加热管(10)热接触;和

用于产生气雾剂(50)的装置,被配置以在所述至少两个冷却管中提供所述气雾剂。

2.如权利要求1所述的热交换器,其特征在于

用于产生所述气雾剂(50)的装置包含:

至少两个毛细管(30);和

阀门(40),特别是脉冲阀。

3.如权利要求2所述的热交换器,进一步包含:

导管(60),在所述阀门(40)和所述至少两个毛细管(30)之间。

4.如任一前述权利要求所述的热交换器,其特征在于

用于产生所述气雾剂(50)的装置包含:

至少两个阀门(45),特别是脉冲阀,在所述至少两个冷却管的进口侧提供。

5.如权利要求1所述的热交换器,其特征在于

用于产生所述气雾剂的装置包含振动元件。

6.如任一前述权利要求所述的热交换器,进一步包含:

控制器(500),与所述用于产生气雾剂的装置通讯;其中所述控制器被配置以调整以下参数的至少一个:脉冲周期(620)、脉冲持续时间(630)和脉冲延迟(640)。

7.如任一前述权利要求所述的热交换器,其特征在于

所述冷却管数目是从2至64,较好地从18至24;和/或

所述冷却管内直径是从12mm2至200mm2,较好地是从25mm2至80mm2,且更较好地是约50mm2;和/或

与所述加热管接触的所述冷却管的每一部分的长度是从20cm至100cm,较好地是约40cm。

8.一种用于蒸发器的冷却的加热管,包含:

如权利要求1至7所述的热交换器,所述热交换器与所述加热管热接触。

9.如权利要求8所述的用于蒸发器的冷却的加热管,进一步包含:

凹槽(70),布置在所述加热管上,所述冷却管至少部分地布置在所述凹槽中;且其中所述冷却管被选择性地压配合到所述凹槽中。

10.一种蒸发器,包含如权利要求8至9所述的冷却的加热管,

其特征在于,所述蒸发器被选择性地布置在真空腔室内。

11.如权利要求10所述的蒸发器,进一步包含:

温度传感器(80),用于测量所述加热管和/或所述冷却管的温度,所述传感器通讯地耦接到控制器。

12.一种冷却蒸发器加热管的方法,包含:

注射气雾剂至至少两个冷却管中,所述至少两个冷却管与所述加热管热接触。

13.如权利要求12所述的冷却蒸发器加热管的方法,其特征在于

所述加热管的初始温度是200℃或更高温度,和

较好地是300℃和更高温度。

14.如权利要求12至13所述的冷却蒸发器加热管的方法,其特征在于

流体的注射是脉冲注射;其中

至少一个脉冲参数是选择性可变的,所述至少一个脉冲参数是以下至少一个参数:脉冲周期(620)、脉冲持续时间(630)和脉冲延迟(640)。

15.如权利要求14所述的冷却蒸发器加热管的方法,其特征在于

所述脉冲持续时间(630)是从1毫秒至10毫秒,较好地是从2毫秒至4毫秒,且更较好地是约3毫秒。

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