[发明专利]用于冷却加热管的热交换器和所述冷却的方法

说明书

本发明描述了用于冷却加热管的热交换器，所述热交换器包含：至少两个冷却管，其中所述至少两个冷却管被布置以使得所述至少两个冷却管的每个冷却管被配置以与加热管热接触；和用于产生气雾剂的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。

本申请是申请日为2011年12月9日、申请号为201180075395.6、名称为“用于冷却加热管的热交换器和所述冷却的方法”的中国专利申请(PCT申请号为PCT/EP2011/072371)的分案申请。

技术领域

本发明实施例涉及用于冷却例如用作蒸发器的加热管的热交换器，和冷却加热管的方法。

背景技术

加热管被例如用于半导体工业中以沉积薄膜。材料在加热管中被汽化，且蒸汽在沉积在基板上之前穿过开口。例如，诸如三聚氰胺的三嗪可被汽化，且在蒸汽通过开口之后，蒸汽沉积在基板上以便涂布。加热管必须有时被冷却以例如替换涂料(例如三聚氰胺)，因为涂料在被用于涂布若干基板之后变得耗尽。生产的总速率可受各种操作时间影响，具体而言冷却加热管所需的时间。因此，与当加热管用于涂布应用时的加热管相关联的问题是用于冷却所需的时间，其中更需要快速的冷却时间。

尽管液态水可在一些情况下用作热设备的冷却剂，但是部分由于水的高比热容和/或汽化热的水功效的原因，存在当使用液态水冷却物品时引起显著问题的情况。例如，当温度高于水的沸点温度时，由于水的快速汽化，将水用作热交换器中的冷却剂可能引起高压。高压可能破坏垫圈和密封，和导致热交换器的故障。

存在具体而言用于冷却加热管或蒸发器的热交换器的强烈需要，所述热交换器可增加冷却速率，从而增加加热管的生产率。

鉴于上文，本发明的目的是提供克服本技术领域中的至少一些问题的热交换器。

发明内容

根据实施例，提供用于冷却加热管10的热交换器100，所述热交换器100包含：至少两个冷却管20，其中至少两个冷却管被布置以使得至少两个冷却管20的每个冷却管被配置以与加热管10热接触；和用于产生气雾剂50的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。

根据另一实施例，本发明提供一种冷却蒸发器的加热管的方法，所述方法包含注入气雾剂至至少两个冷却管中，所述至少两个冷却管与加热管热接触。

附图说明

因此，以可详细地理解本发明的上述特征的方式，可参考实施例获得上文简要总结的本发明的更特定描述。附图涉及本发明实施例且附图描述在下文中：

图1图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器；

图2图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器；

图3图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器；

图4图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器；

图5图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器；

图6图示根据本文所述的实施例的至产生气雾剂的装置的脉冲信号；

图7图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的冷却管的横截面；

图8图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的冷却管的横截面；

图9图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的热交换器的冷却管；

图10图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的冷却管的横截面，所述加热管具有凹槽；

图11图示根据本文所述的实施例的被配置以与加热管热接触的冷却管，和外部皮带的横截面；