[发明专利]一种观察装置、蒸镀装置

权利要求书

1.一种观察装置，包括框体，以及位于框体内的观察孔，其特征在于，所述框体设有与所述观察孔的横截面夹角可调的挡板，所述挡板的板面设有与所述观察孔相配合的反射层，所述反射层位于所述挡板与相配合的观察孔之间。

2.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，所述观察孔的数量和所述挡板的数量均为一个。

3.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，所述观察孔的数量为至少两个，所述挡板的数量至少为一个，所述框体包括位于相邻两个所述观察孔之间的连接件，所述连接件连接相邻两个所述观察孔，每个所述挡板一一对应的设在所述连接件上；

每个所述挡板所设有的反射层包括与所述连接件相邻的两个观察孔一一对应配合的第一反射层和第二反射层；所述第一反射层设在所述挡板的第一板面，所述第二反射层设在所述挡板的第二板面，所述挡板的第一板面和所述挡板的第二板面相对。

4.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，所述挡板的板面与所述观察孔的横截面处在平行状态时，所述反射层位于相配合的观察孔中，所述挡板在所述观察孔的横截面所在平面的正投影覆盖所述挡板的板面所设有的反射层相配合的观察孔。

5.根据权利要求4所述的观察装置，其特征在于，所述挡板的板面与所述观察孔的横截面处在平行状态时，所述反射层的侧边与相配合的观察孔的内壁接触；或，

所述挡板的板面与所述观察孔的横截面处在平行状态时，所述反射层的侧边与相配合的观察孔的内壁之间具有密封件；所述密封件固定在所述挡板上。

6.根据权利要求1～5任一项所述的观察装置，其特征在于，所述观察孔中设有透明板；所述挡板的板面与所述观察孔的横截面处在平行状态时，所述反射层位于相配合的透明孔内所设置的透明板与所述挡板之间。

7.根据权利要求1～5任一项所述的观察装置，其特征在于，所述观察孔的边缘设有对所述挡板进行定位的吸附件。

8.根据权利要求1～5任一项所述的观察装置，其特征在于，所述框体设有与所述挡板连接的控制机构，所述控制机构用于控制所述挡板的板面与所述观察孔的横截面的夹角。

9.根据权利要求8所述的观察装置，其特征在于，所述控制机构包括旋钮，以及与所述旋钮连接的固定杆，所述挡板固定于所述固定杆上，所述旋钮设在所述框体上；或，

所述控制机构包括销轴和连杆机构，所述挡板与所述框体通过销轴连接在一起，所述连杆机构的一端与所述挡板固定连接，所述连杆机构的另一端穿过所述观察孔。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀室，所述蒸镀室上设有权利要求1～9任一项所述观察装置；所述观察装置中，至少挡板以及形成在所述挡板的板面的反射层位于所述蒸镀室内。