[发明专利]一种观察装置、蒸镀装置

说明书

本发明公开一种观察装置、蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域。该观察装置包括框体，以及位于框体内的观察孔，框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板，所述挡板的板面形成有反射层，所述反射层位于所述挡板与所述观察孔之间，所述蒸镀装置包括上述技术方案所提的观察装置。本发明通过框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板，并控制挡板表面的反射层位于挡板与所述观察孔之间，使得本发明提供的观察装置用于蒸镀装置时，在保证正常观察蒸镀装置镀膜的前提下，避免成膜材料沉积在观察窗的透明玻璃表面。

技术领域

本发明涉及一种观察窗结构，尤其涉及一种观察装置、蒸镀装置。

背景技术

蒸镀设备是一种将成膜材料蒸镀在基材表面的成膜技术，其蒸镀室设有观察窗，观察窗上设有透明玻璃，使得透明玻璃成膜过程中，作业人员通过观察窗的透明玻璃观察蒸镀室内的镀膜状态，以便了解镀膜情况。

在镀膜过程中经常出现绕镀的问题，使得观察窗所设置的透明玻璃朝向蒸镀室的表面沉积镀膜材料，无法观察蒸镀室内镀膜状态；为此，蒸镀室(镀膜区域所在腔室)的内部还设有挡板，通过挡板遮挡观察窗所设置的透明玻璃，以防止镀膜过程中观察窗所设置的透明玻璃沉积成膜材料。但是，由于挡板的面积需要小于透明玻璃的面积，才能保证作业人员通过透明玻璃没有被挡板遮挡的区域观察蒸镀室内的镀膜状态。

发明内容

本发明的目的在于提供一种观察装置、蒸镀设备，以在保证正常观察镀膜状态的前提下，避免成膜材料沉积在观察窗的透明玻璃表面。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种观察装置，该观察装置包括框体，以及位于框体内的观察孔，所述框体设有与所述观察孔的横截面夹角可调的挡板，所述挡板的板面形成有与所述观察孔相配合的反射层，所述反射层位于所述挡板与相配合的观察孔之间。

与现有技术相比，本发明提供的观察装置中，框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板，而由于挡板的板面形成有与观察孔相配合的反射层，反射层位于挡板与相配合的观察孔之间，这使得挡板可控制反射层的表面与观察孔的横截面之间的夹角。当反射层的表面与相配合的观察孔的横截面之间的夹角为锐角时，反射层能够采集其他区域的光线并进行反射，使得反射的光线通过观察孔送入作业人员眼前，这样作业人员就能利用观察孔和相配合的反射层看到其他位置的画面。基于此，本发明提供的观察装置用于蒸镀设备时，只需要保证观察装置所包括的挡板和反射层位于镀膜区域所在腔室内部，就可以通过控制挡板的板面与观察孔的横截面夹角，以调节观察孔相配合的反射层采集的光线区域位置，从而保证作业人员观察镀膜状况。

另外，本发明提供的观察装置中，框体设有与观察孔的横截面夹角可调的挡板，使得在非观察状态，控制挡板的板面与观察孔的横截面处在平行状态，以使得挡板完全遮挡观察孔。此时即使镀膜区域所在腔室内部发生绕镀现象而导致成膜材料，镀膜材料也只会沉积在挡板背离反射层的表面，而不会沉积在镀膜区域所在腔室内部的观察窗口所设置的透明玻璃上，避免了反复更换透明玻璃所产生的镀膜区域所在腔室漏气问题。

本发明还提供了一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括蒸镀室，所述蒸镀室上设有上述技术方案所述观察装置；所述观察装置中，至少挡板以及形成在所述挡板的板面的反射层位于所述蒸镀室内。

与现有技术相比，本发明提供的蒸镀设备的有益效果与上述技术方案所述的观察装置的有益效果相同，在此不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的观察装置没有挡板的情况下的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的观察装置没有透明板的情况下的结构示意图；