[发明专利]图案产生装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201810574917.0 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN110568652A 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 李元裕;许雅伶 申请(专利权)人: 扬明光学股份有限公司
主分类号: G02F1/1334 分类号: G02F1/1334;G02F1/1335
代理公司: 31264 上海波拓知识产权代理有限公司 代理人: 杨波
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;TW
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摘要:
搜索关键词: 聚合物分散液晶 图案产生装置 电源供应器 光路 光源 图案 光栅 相位信息 组件电性 制造
【权利要求书】:

1.一种图案产生装置,其特征在于,包括:

一光源;

一第一全像聚合物分散液晶组件,位于所述光源的光路下游,所述第一全像聚合物分散液晶组件设有一第一相位信息的图案;以及

一第二全像聚合物分散液晶组件,位于所述第一全像聚合物分散液晶组件的光路下游,所述第二全像聚合物分散液晶组件设有一定义光栅的图案。

2.一种图案产生装置,其特征在于,包括:

一光源;

一可在绕射状态和非切换绕射状态切换的第一光栅,位于所述光源的光路下游;

一可在绕射状态和非切换绕射状态切换的第二光栅,位于所述第一光栅的光路下游;以及

一光学绕射组件,位于所述第二光栅的光路下游,设有一相位信息的图案。

3.如权利要求1~2中任一项所述的图案产生装置,其特征在于,所述光源是从下列中选出:激光、发光二极管、有机发光二极管、激光二极管、垂直腔面发射激光器、边缘射出的边射型激光、灯泡、可发出热感应波长区间光束的发光单元、单点光源、多点光源和面光源。

4.如权利要求1~2中任一项所述的图案产生装置,其特征在于,所述光源发出一光线,所述光线在一成像面形成一默认图案。

5.如权利要求4所述的图案产生装置,其特征在于,图案产生装置还包含一电源供应器。

6.如权利要求5所述的图案产生装置,其特征在于,所述图案产生装置设有下列状态之一:(1)当所述电源供应器没有送出一电压到所述第一全像聚合物分散液晶组件,所述第一全像聚合物分散液晶组件处于绕射状态,离开所述第一全像聚合物分散液晶组件的所述光线被转换成带有对应于所述相位信息图案的第一图案影像光,(2)当所述电源供应器没有送出一电压到所述第二全像聚合物分散液晶组件,所述第二全像聚合物分散液晶组件处于绕射状态,所述光线离开所述第二全像聚合物分散液晶组件被偏折一角度,(3)当所述电源供应器分别送出一电压到所述第一全像聚合物分散液晶组件和所述第二全像聚合物分散液晶组件,所述第一全像聚合物分散液晶组件和所述第二全像聚合物分散液晶组件都处于非绕射状态,所述光线以约略直线穿透所述第一全像聚合物分散液晶组件和所述第二全像聚合物分散液晶组件。

7.如权利要求5所述的图案产生装置,其特征在于,所述图案产生装置设有下列状态之一:(1)当所述电源供应器没有送出一电压到所述第一光栅,所述第一光栅处于绕射状态,所述光线离开所述第一光栅被偏折一第一角度,(2)当所述电源供应器没有送出一电压到所述第二光栅,所述第二光栅处于绕射状态,所述光线离开所述第二光栅被偏折一第二角度,(3)当所述电源供应器分别送出一电压到所述第一光栅和所述第二光栅,所述第一光栅和所述第二光栅都处于非绕射状态,所述光线以约略直线穿透所述第一光栅和所述第二光栅。

8.如权利要求3所述的图案产生装置,其特征在于,所述光阀是从下列中选出:数字微镜组件、硅基液晶面板、穿透式液晶面板、光罩、投影片和透光基板。

9.如权利要求1、2、8中任一项所述的图案产生装置,应用在一深度量测系统,其特征在于,所述深度量测系统还包含一摄像装置和一计算单元。

10.一种图案产生装置的制造方法,其特征在于,包括:

电性连接一电源供应器和下列装置组合之一:(1)一第一全像聚合物分散液晶组件和一第二全像聚合物分散液晶组件,(2)一可在绕射状态和非切换绕射状态切换的第一光栅和一可在绕射状态和非切换绕射状态切换的第二光栅;以及

装配一光源和下列装置组合之一,装配顺序为:(1)所述光源的一光路的上游到下游依序为所述第一全像聚合物分散液晶组件和所述第二全像聚合物分散液晶组件,(2)所述光源的一光路的上游到下游依序为所述第一光栅、所述第二光栅和一光学绕射组件。

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