[发明专利]一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法在审
| 申请号： | 201810578783.X | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN108802283A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 任书明;胡正宜;宫汝华 | 申请（专利权）人： | 四川旭虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京彩和律师事务所 11688 | 代理人： | 刘磊;闫桑田 |
| 地址： | 621099 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 优选 玻璃基板表面 基板表面缺陷 测试 玻璃缺陷 测量步骤 测量参数 测试玻璃 缺陷表面 缺陷方向 缺陷位置 探针扫描 探针压力 污渍 台阶仪 裁切 去除 测量 制作 | ||
1.一种玻璃基板的测试方法，包括如下步骤：
制作样品，将带有玻璃缺陷的玻璃基板裁切为≤200×200mm，优选为≤150×150mm，更优选为≤100×100mm，去除玻璃基板及缺陷表面的污渍；
对缺陷位置进行定位；
测量参数设定，测量行程设为3000μm以下，探针扫描速度设为50μm/S以下，探针压力设为10mg以下；和
测量步骤，采用台阶仪测试玻璃基板表面缺陷的方向及高低。
2.根据权利要求1所述的测试方法，其中，根据台阶仪的探针在玻璃缺陷表面上下运动来表示缺陷的方向。
3.根据权利要求2所述的测试方法，其中，所述探针的上下位移与缺陷的高低成正比。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的测试方法，其中，以所述玻璃基板表面为基准面。
5.根据权利要求4所述的测试方法，其中，所述基准面与所述探针上下位移最大点的距离为缺陷高低。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的测试方法，其中，测量行程为200-2000μm，优选为300-1500μm，更优选为500-1000μm。
7.根据权利要求2～6中任一项所述的测试方法，其中，所述探针的扫描速度为10-50μm/S，优选为20-40μm/S，更优选为25-35μm/S。
8.根据权利要求2～7中任一项所述的测试方法，其中，所述探针的压力2-8mg，优选为3-7mg，更优选为4-6mg。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的测试方法，其中，缺陷高低测量精度达埃米级。
10.根据权利要求1～8中任一项所述的测试方法，其中，
制作样品的步骤由以下步骤组成：
将带有玻璃缺陷的玻璃基板裁切为≤200×200mm，优选为≤150×150mm，更优选为≤100×100mm，以及
对玻璃基板进行清洗。
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