[发明专利]一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法

说明书

本发明涉及一种玻璃基板的测试方法，包括如下步骤：制作样品，将带有玻璃缺陷的玻璃基板裁切为≤200×200mm，优选为≤150×150mm，更优选为≤100×100mm，去除玻璃基板及缺陷表面的污渍；对缺陷位置进行定位；测量参数设定，测量行程设为3000μm以下，探针扫描速度设为50μm/S以下，探针压力设为10mg以下；和测量步骤，采用台阶仪测试玻璃基板表面缺陷的方向及高低。

技术领域

本发明涉及玻璃基板的检测领域，具体涉及一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法。

背景技术

随着显示技术的迅猛发展，用户对电子产品清晰度的要求越来越高，而玻璃基板作为电子显示设备的关键基础材料，对其的表面质量要求越来越严格，微小的表面缺陷会影响玻璃基板的光学质量，导致观察的物象产生畸变。

在玻璃基板的成型及加工过程中，表面不可避免的存在各种类型缺陷，部分固态或尺寸较大的缺陷可通过光学显微镜或自动检查设备测量，但对于细微缺陷或者外观透明度与玻璃相似的缺陷，如微小点状缺陷、微细划伤、掉落物、蚀刻工艺中的透明凹凸点、镀膜工艺中的亮点或暗点等，光学仪器或自动检查设备很难准确分辨和测量，故不可能通过缺陷位置和高低对其进行更深入的研究。

目前测量玻璃板面缺陷方向和高低的方法绝大多数都是光学检测(专利文献1、2、3)，例如，有利用光学显微镜观察，通过焦距来测算缺陷高低(专利文献7)；或是通过蚀刻掉缺陷来计算缺陷高低(专利文献8)；或者是利用摄像机拍摄缺陷图像计算高低(专利文献4、5、6)。这些方法中光学显微镜观察容易因光学变形产生误判，测算误差大；使用酸液蚀刻对人体和环境危害大；利用摄像机拍摄缺陷图像只能测试较厚的玻璃上的缺陷，且以上方法测量精度为毫米或微米级。因此需要有一种简单快速且测量精度高的检测方法来检测玻璃基板表面缺陷的方向及高低。

玻璃表面的缺陷(微小点状缺陷、微细划伤、掉落物、蚀刻工艺中的透明凹凸点、镀膜工艺中的亮点或暗点等)特殊之处在于：以上大部分缺陷因太细微或光学畸变，光学仪器和常规方法均无法准确测试和判断。

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

台阶仪常规测试方法主要测试膜层厚度、粗糙度、波纹度等，未涉及玻璃缺陷方面的检测。目前为止，本领域还没有使用台阶仪测试玻璃缺陷的研究。

现有技术文献

专利文献1：CN106680289A公开文本

专利文献2：CN204647937U公告文本

专利文献3：CN101652625B公告文本

专利文献4：CN103064206A公开文本

专利文献5：CN207163931U公告文本

专利文献6：CN107966458A公开文本

专利文献7：CN107024488A公开文本

专利文献8：CN107063112A公开文本

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法，此方法可以快速准确地测定玻璃基板表面微小点状缺陷、微细划伤、掉落物、玻璃蚀刻过程中的透明凹凸点以及镀膜工艺中的亮点或暗点等缺陷的方向及高低，并且测试精度可达埃米级。