[发明专利]包括电容测量电路的半导体装置在审
申请号: | 201810594249.8 | 申请日: | 2018-06-11 |
公开(公告)号: | CN109521279A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 金世焕;金京兑;朴宰范 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 李少丹;许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电容测量电路 电压转换电路 检测电压 代码发生电路 半导体装置 配置 恒定电流电路 参考电压 代码信号 恒定电流 输出恒定 泄漏电流 检测 转换 | ||
1.一种半导体装置,包括:
电容测量电路,其包括:
恒定电流电路,其被配置为输出恒定电流;
电压转换电路,其被配置为将恒定电流转换成检测电压,并且补偿由于电压转换电路的内部泄漏电流引起的检测电压的变化;以及
代码发生电路,其被配置为将通过检测在检测电压增加到参考电压时所经过的时间而获得的值产生为代码信号。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,还包括:
被测器件,
其中,电压转换电路基于从恒定电流电路接收的恒定电流和被测器件的电容来将恒定电流转换为检测电压以产生检测电压。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,恒定电流电路被配置为根据参考电压来产生多个电流,并且将所述多个电流之中的一个电流输出为恒定电流。
4.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,恒定电流电路包括:
比较器,其被配置为放大并输出反馈电压与参考电压的差值;
电流镜,其被配置为根据比较器的输出来产生具有不同电流量的所述多个电流;以及
第一开关电路,其被配置为通过选择所述多个电流之中的一个电流来输出恒定电流。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,恒定电流电路还包括:
第二开关电路,其被配置为经由焊盘将所述多个电流中的一个电流输出到半导体装置的外部。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,还包括:
被测器件,
其中,电压转换电路包括:
第一开关电路,其电耦接在恒定电流线与被测器件之间;
第二开关电路,其电耦接在恒定电流线与接地端子之间;以及
第三开关电路,其电耦接在电源端子与恒定电流线之间。
7.根据权利要求6所述的半导体装置,其中,第三开关电路被配置为保持关断状态而不被单独控制。
8.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,代码发生电路包括:
比较器,其被配置为通过放大检测电压与参考电压的电压差来产生比较信号;
控制逻辑,其被配置为根据比较信号来产生振荡使能信号和计数使能信号;
振荡器,其被配置为在振荡使能信号的激活时段内产生振荡信号;
逻辑门,其被配置为通过将振荡信号和计数使能信号组合来输出输出信号;以及
计数器,其被配置为将通过对逻辑门的输出信号进行计数而获得的值输出为代码信号。
9.根据权利要求8所述的半导体装置,还包括:
被测器件,
其中,控制逻辑包括:
逻辑门,其被配置为根据比较信号来产生重置信号;以及
设置-重置SR锁存器,其被配置为根据用于控制恒定电流被供给到被测器件的时间的测试模式信号和重置信号来产生振荡使能信号和计数使能信号。
10.根据权利要求8所述的半导体装置,其中,代码发生电路还包括:
开关电路,其被配置为将检测电压和参考电压中的任意一个输入到比较器的第一输入端子,而将检测电压和参考电压中的另一个输入到第二输入端子。
11.根据权利要求8所述的半导体装置,其中,计数器经由焊盘将代码信号输出到半导体装置的外部。
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