[发明专利]一种单晶硅棒转运系统

说明书

本申请公开了一种单晶硅棒转运系统，属于单晶硅片加工技术领域，其包括：承托单元，所述承托单元至少用于承托一根所述单晶硅棒；起吊单元，所述起吊单元用于将所述承托单元由第一位置吊送至第二位置；以及夹持输送单元，所述夹持输送单元用于夹持所述承托单元内的单晶硅棒并将其输送至第三位置。本申请实现了对单晶硅棒的自动输送，节省了人工成本和劳动强度。

技术领域

本申请属于硅片加工技术领域，尤其涉及一种单晶硅棒转运系统。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近几十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓等方面均获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也粘有重要地位。

在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天，利用单晶硅所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能，实现了迈向绿色能源革命的开始。

单晶硅片的制作工艺一般要经历铸锭、切方、小方棒加工、粘胶、切片、脱胶、硅片加工、插片清洗和热处理等步骤，即在单晶硅棒加工完成后，首先需将单晶硅棒送至粘胶机进行粘胶后才能放入切片机进行切片。单晶硅棒非常昂贵，很重且脆，易于在外力作用下崩边。

然而，现有技术中大多采用人力将单晶硅棒搬运至粘胶机进行粘胶，一般而言，500mm长度的单晶硅棒重量就达40.16kg，人工搬运的方式不仅加大了操作人员的劳动强度，而且搬运过程中容易造成单晶硅棒的崩边，从而降低了良率，增加了损失。

由此可见，现有技术有待于进一步的改进和提高。

发明内容

本申请为避免上述现有技术存在的不足之处，提供了一种单晶硅棒转运系统，以降低人工强度，减少搬运过程中的崩边。

本申请所采用的技术方案为：

一种单晶硅棒转运系统，包括：承托单元，所述承托单元至少用于承托一根所述单晶硅棒；起吊单元，所述起吊单元用于将所述承托单元由第一位置吊送至第二位置；以及夹持输送单元，所述夹持输送单元用于夹持所述承托单元内的单晶硅棒并将其输送至第三位置。

所述承托单元包括箱体，所述箱体的顶端敞口，且所述箱体内至少设置有一个托具，所述托具呈倒置的梯形槽状；所述箱体的顶端两侧均设置有吊耳，所述吊耳用于实现与所述起吊单元的连接。

所述托具可拆卸地安装在所述箱体的底板上。

所述托具的内侧壁上设有第一柔性保护垫。

所述起吊单元包括：吊钩，所述吊钩用于实现与所述承托单元的连接；吊钩升降驱动机构，所述吊钩升降驱动机构用于带动所述吊钩升降；以及吊钩水平移位驱动机构，所述吊钩水平移位机构用于带动所述吊钩的水平移位，并与所述吊钩升降驱动机构一起带动所述吊钩在第一位置和第二位置之间往复移动。

所述夹持输送单元被配置为，能够夹持不同尺寸的单晶硅棒。

所述夹持输送单元包括：两个相对设置的夹爪，两个夹爪相互配合形成对所述单晶硅棒的夹持；夹爪升降驱动机构，所述夹爪升降驱动机构用于带动所述夹爪升降；以及夹爪水平移位驱动机构，所述夹爪水平移位驱动机构用于带动所述夹爪及所述夹爪升降驱动机构一起在第四位置和第五位置之间往复移动。

所述夹持输送单元还包括：间隙调节机构，所述间隙调节机构用于调节两个所述夹爪之间的夹持间隙，以夹持不同尺寸的单晶硅棒。

各所述夹爪的内侧面均设置有第二柔性护垫。