[发明专利]晶体材料熔化方法及熔化设备

权利要求书

1.一种晶体材料熔化方法，其特征在于：加热坩埚中的晶体材料，并同步振动所述坩埚，使所述坩埚中的晶体材料在熔化过程中保持振动，熔化的晶体材料中的气泡上升，从所述坩埚中向外逸出。

2.根据权利要求1所述的一种晶体材料熔化方法，其特征在于：加热所述坩埚中的晶体材料，使其自下而上逐步熔化，下方熔化的晶体材料中的气泡上升，从上方未熔化的晶体材料之间的缝隙中向外逸出；直至最上方的晶体材料熔化，最上方熔化的晶体材料中的气泡上升，从所述坩埚中向外逸出。

3.根据权利要求2所述的一种晶体材料熔化方法，其特征在于：在所述坩埚外部自下而上设置至少两段用于独立加热所述坩埚的加热器。

4.根据权利要求3所述的一种晶体材料熔化方法，其特征在于：首先开启下方的所述加热器，使其熔化所述坩埚中对应的下方晶体材料，并且不熔化上方的所述加热器在所述坩埚中对应的上方晶体材料，下方熔化的晶体材料中的气泡上升，从上方未熔化的晶体材料之间的缝隙中向外逸出；接着开启上方的所述加热器，使其熔化所述坩埚中对应的上方晶体材料，上方熔化的晶体材料中的气泡上升，从所述坩埚中向外逸出。

5.一种晶体材料熔化设备，其特征在于：包括坩埚、连接在所述坩埚上的用于振动所述坩埚的振动机构、设于所述坩埚外部的加热机构，所述加热机构自下而上至少包括两段用于独立加热所述坩埚的加热器。

6.根据权利要求5所述的一种晶体材料熔化设备，其特征在于：所述加热机构工作时，至少两段所述加热器自下而上依次间隔开启。

7.根据权利要求5所述的一种晶体材料熔化设备，其特征在于：所述加热器环设于所述坩埚的外侧周部，所述加热器与所述坩埚之间间隙分布。

8.根据权利要求5所述的一种晶体材料熔化设备，其特征在于：所述振动机构包括振动器、两端分别连接在所述振动器和所述坩埚上的连接轴。

9.根据权利要求8所述的一种晶体材料熔化设备，其特征在于：所述连接轴的上端连接所述坩埚的底部，所述连接轴的下端连接所述振动器。

10.根据权利要求8所述的一种晶体材料熔化设备，其特征在于：所述连接轴与所述坩埚同轴延伸。